原子間力顕微鏡: Toscaシリーズ

Tosca AFMで測定時間を短縮

Toscaシリーズは、卓越した技術と時間効率のよい操作性を兼ね備えており、科学者はもちろん、産業界のユーザーにとっても最適なナノテクノロジー分析ツールとなります。

Toscaシリーズには2種類のモデルがあります。Tosca 400は、大型サンプル用の上位モデルです。Tosca 200は、中型サンプル用の低価格モデルです。いずれのモデルも、パフォーマンス、柔軟性、品質は同等です。

全てのToscaに3年間の保証期間、3回のユーザートレーニング、任意の10個のサンプルの詳細な測定報告書が付いています。

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主な機能

優れた方位技術: 自動化されたレーザーアライメント

優れた方位技術: 自動化されたレーザーアライメント

AFM測定において、レーザーアライメントは非常に重要かつ複雑なステップであり、不慣れなユーザーにとっては特に時間のかかる作業です。そのためTosca 400には、完全自動のレーザーアライメント機能を搭載しました。カンチレバーをアクチュエータ本体に装着し、アクチュエータ本体をAFMヘッドに装着した後、制御ソフトウェアで2回クリックするだけで、装置が自動的にレーザーアライメントを実行します。

信頼性の高い測定: 面外運動を最小化

信頼性の高い測定: 面外運動を最小化

X-YスキャナとZスキャナを分離した構造となっており、X-Yスキャナはサンプルの下に、Zスキャナは装置の最上部に取り付けられています。このような設計により、スキャナ間のクロストークや面外運動を最小限に抑えています。面外運動はチューブスキャナを搭載する従来のAFMシステムの欠点として知られており、典型的なバックグラウンドの湾曲(ボウ)を引き起こします。Toscaシリーズでは、面外運動がチューブスキャナを搭載するAFMの20分の1以下に抑えられています。

全体を見渡す: 広いスキャン範囲と最高の精度

全体を見渡す: 広いスキャン範囲と最高の精度

X-Yスキャン範囲は最大100 µm、Zスキャン範囲は最大15 µmで、サンプルの広い範囲を撮像可能であり、大きなトポグラフィーの変化にも対応できます。Tosca Controlソフトウェアの「クリック&ムーブ」ナビゲーション機能によって、スキャン位置をすばやく正確に選択することができます。 

将来に向けて: エンゲージメント手順が最も容易なAFM

将来に向けて: エンゲージメント手順が最も容易なAFM

エンゲージメントの手順では、カンチレバーをサンプル表面に近づけます。これは、AFMの操作における最も難しい手順の1つです。Toscaシリーズでは、側視カメラを搭載することで、この問題を解決しました。このカメラを用いると、カンチレバーの位置を正確に監視しながら、サンプルの表面近くまで移動させることができます。続いて、自動エンゲージメント手順を開始すると、数秒でカンチレバーをサンプル表面に接触させることができ、スキャニングの準備が整います。

迅速かつ安全なカンチレバー交換

迅速かつ安全なカンチレバー交換

Probemasterはカンチレバーの操作用に特別に開発された独自のツールです。これにより時間が短縮され、迅速・安全・正確なカンチレバーの配置が保証されます。そのため、測定のたびにアクチュエータ本体にカンチレバーを迅速かつ安全に取り付けることができます。 

妥協のない優れた正確性

妥協のない優れた正確性

スキャナー分離構造により、ボウイングなどのアーティファクトのない、サブナノメートルレベルの高精度を実現します。閉ループX-Yスキャンにより、非線形性やクリープをなくし、高精度のナノスケール分析を可能にしています。

技術仕様


 

Tosca 400
(大型サンプル)
Tosca 200
(中型サンプル)
スキャナ  
X-Yスキャン範囲100 µm x 100 µm50 µm x 50 µm*
Zスキャン範囲15 µm 10 µm**
最大スキャン速度 10ライン/秒 5ライン/秒
サンプルサイズ
サンプルの最大径 90 mm 45 mm
サンプルの最大高さ 25 mm
サンプルの最大重量 600 g未満
電動ステージ
X-Yステージ 100 mmストローク
Zステージ 85 mmストローク
位置決め再現性 (双方向) <1 µm
ビデオマイクロスコープ
カメラ カラー、5メガピクセル、CMOSセンサ
視野 1.73 mm x 1.73 mm
空間分解能 5 µm
フォーカス 電動フォーカス
全体視カメラ
カメラ カラー、5メガピクセル、CMOSセンサ
視野 40 mm x 40 mm
空間分解能50 µm
側視カメラ
側視カメラモノクロ、視界の高さ 30 mm
モード
標準モード コンタクトモード、タッピングモード(位相画像を含む)、水平力顕微鏡法、力と距離の曲線
オプションモード 接触抵抗振幅イメージ
寸法と重量
AFMユニットの寸法(直径 x 幅 x 高さ)490 mm x 410 mm x 505 mm
コントローラの寸法(直径 x 幅 x 高さ)340 mm x 305 mm x 280 mm
AFMユニットの重量51.1 kg
コントローラの重量7.8 kg

* オプションで90 µm x 90 µmへのアップグレード可
** オプションで12 µmまたは15 µmへのアップグレード可
Toscaはアントンパール社の登録商標です(013412143)。

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