AFM-原子間力顕微鏡:
Tosca
- 最高水準のAFMをエントリーモデルの価格で
- 同価格帯で最も大きいサンプルステージ (50 mm全体を測定可能)
- 市場で最も速い測定時間 (わずか3分)
- スキャンサイズ: 15 µm (Z方向) 90 µm x 90 µm (X - Y方向)
- 10秒で完了するカンチレバー交換
- ヘッド交換せずにサンプルの同じ場所で全モードを利用可能
- 同価格帯で最も大きいサンプルステージ (ウェハ用に最大200 mm)
- AFM用に最高水準のハードウェア・ソフトウェア自動化
- 市場で最も速い測定時間 (わずか3分)
- 10秒で完了するカンチレバー交換
- ヘッド交換せずに同一サンプルスポットで全モードを利用可能
はお問い合わせください
最高水準のAFMをエントリーモデルの価格で: 最も速い測定設定と最も大きなサンプルステージを備えたToscaシリーズは、あなたのAFMナノ表面分析をサポートします。
Toscaはナノテクノロジー材料科学の研究者、パイオニア、メーカーにとっての最初の選択肢です。
ヘッド交換によるモード切替は不要になりました: Toscaは利用可能なすべてのモードを1つのヘッドに組み込み、全く同じ場所での測定を可能にします。
メリット
特許取得済みのインテリジェント機能がAFM測定手順の各ステップをカバーし、高度に合理化された独自のAFMワークフローを実現しているため、従来のAFMシステムの10倍の速さで測定結果が得られます。
何日もかけてAFMの操作を学ぶ必要はなく、1時間後には測定を開始できます。 数秒で完了する高速で安全なカンチレバー装着、自動レーザーアライメント、最も直感的なサンプルナビゲーション、市場で最も安全なアプローチ手順により、研究結果に集中する時間を増やすという目標を達成できます。
- わずか1時間のトレーニング
- 従来のAFMより12倍速い
課題
すぐに測定を始めたいと思っています。Toscaの使い方を習得するには、どれくらいの時間がかかりますか？
解決法
Toscaは非常に操作しやすく、標準モードのトレーニングはわずか1時間で完了します。
お客様にとってのメリット＆削減できる時間
Toscaを使えば、従来のAFMでは1.5日かかるところを、1時間のトレーニングで最初の測定を開始することができます。
- サンプルの前処理が不要
- 大型サンプルを直接測定
- サンプルステージ: 直径100 mm、高さ25 mm (ウェハ用の最大サイズは200 mm)
課題
サンプルのカットやスライスで破損や汚染が生じる可能性があります。これを防ぐにはどうすればいいのでしょうか？
解決法
サンプルの前処理が不要で、それに伴う汚染や結果のずれへのリスクについて心配する必要もありません。Toscaを使えば、高さ25 mm、直径100 mmまでの大型サンプルを直接測定することができます。
お客様にとってのメリット＆削減できる時間
Toscaを使えば、正確な結果が得られ、この面倒な準備作業を省くことができます。節約できる時間: 最大15分。サンプルによって異なります。
- 10秒でカンチレバーを位置決め
- 100%正確なアライメント
- カンチレバーが破損しない
課題
カンチレバーの交換や位置決めはコツが必要で時間がかかります。もっと良い方法はありませんか？
解決法
特許取得済みのプローブマスタを使用して、10秒でカンチレバー交換ができます。
特許: AT520313 (B1)
お客様にとってのメリット＆節約できる時間
プローブマスタは迅速にカンチレバーの位置決めを行い、破損を防止し、適切なアライメントを可能にします。
- 複数のサンプルをセットし、一括で測定することができます
- サンプル設置を繰り返す時間を最大20分節約できます
- マグネット式ロックによりサンプルホルダーを固定します
課題
複数のサンプルをセットして、プロセスを簡素化することはできますか？
解決法
複数のサンプルをセットし、一括で測定することができます。Toscaの特許取得済みマグネット式ロックにより、サンプルの安定した位置決めが確保されます。
特許: AT515951 (B1)
お客様にとってのメリット＆節約できる時間
大型キャリアに載せたサンプルを任意の場所に固定し、安定した位置決めをすることができます。複数のサンプルをワンステップで測定します。節約できる時間: サンプルごとに最大20分。ユーザーによって異なります。
- 5秒で完了する全自動レーザーアライメント
- ソフトウェアを起動してマウスを2回クリックするだけ
課題
レーザーの手動アライメントは、専門性も必要とする手間のかかる作業です。他の方法はありませんか？
解決法
Toscaは5秒で完了する全自動レーザーアライメントが可能です。
特許: AT520419 (B1)
お客様にとってのメリット＆節約できる時間
Toscaの自動レーザーアライメント機能は、ユーザーをアライメントの専門家にします。ソフトウェアを起動してマウスを2回クリックするだけです。節約できる時間: アライメントごとに最大5分。
- 特許取得済みのサイドビューカメラは、表面上の正確なカンチレバーの位置を示します
- 安全かつ迅速なアプローチ
- ヘッド衝突のリスクなし
課題
正しいアプローチが難しいです。ヘッドの衝突を防止しながら、複雑な形状、透明なサンプル、ガラスに埋め込まれたサンプルなどに対処するにはどうすればいいのでしょうか？
解決法
特許取得済みのToscaのサイドビューカメラは、市場で最も安全で簡単な操作を可能にします。
特許: EP3324194B1
お客様にとってのメリット＆節約できる時間
サンプル表面のカンチレバーを水平方向に見ることで、アプローチの様子を視覚的に確認することができます。節約できる時間: 失敗のリスクを大幅に低減した上で5～10分。サンプルやユーザーによって異なります。
- 3つのカメラが全てのステップでサンプルを表示
- クリックしてcm、µm、nmのビューに移動するだけ
- 測定ごとに5～10分節約
課題
サンプル上で目的の領域を見つけるには、時間と根気が必要です。この手順を最適化するにはどうすればいいのでしょうか？
解決法
Toscaは直感的にクリックして移動できるナビゲーション機能を搭載しています: 時間をかけて手動で位置決めをするのではなく、目的の領域をクリックするだけで、すぐに自動でナビゲーションされます。
お客様にとってのメリット＆節約できる時間
ナビゲーションに必要なのはクリック1回だけです。3台のカメラを内蔵しているため、cmやµmからnmまでの広範囲でのナビゲーションが可能です。節約できる時間: 利便性が高まる上に測定ごとに5～10分。
- 常に生データを保管して、すべての分析ステップの影響を追跡
- テンプレートとバッチ分析
- レポート作成は5秒で完了
課題
分析機能とテンプレートを幅広く搭載している分析ソフトウェアを必要としています。また、すべての分析ステップを追跡できるオプションも必要としています。
解決法
Tosca Analysisのテンプレートを使用すれば、わずか数秒で完璧なレポートを取得できます。個々の分析操作が記録されているので、常に生データの処理を追跡することができます。
お客様にとってのメリット＆節約できる時間
生データとバッチ測定による複数の結果データ読み込むだけで、5秒以内にレポートが完成します。節約できる時間: 分析レポートごとに20分程度。
- 接触共振モード(硬度・粘度測定)
- 画像サイズ 10 µm x 10 µm
- 解像度 500 px x 500 px
詳細
PMMA/SBSポリマーブレンド。トポグラフィーと機械特性の重ね合わせ。画像サイズ 10 µm x 10 µm、解像度 500 px x 500 px。
モード
接触共振モード(硬度・粘度測定)
研究課題
両方のポリマーの分布によって薄膜の機械的特性が決まります。CR-AFMモードは、トポグラフィーや位相解析にも使用しています。
- タッピングモード
- 画像サイズ 25 µm x 25 µm
- 解像度 1000 px x 1000 px
詳細
ポリカプロラクトン(PCL)のファイバーネットワーク。限界寸法評価のための高解像度トポグラフィー画像。画像サイズ 25 µm x 25 µm、解像度 1000 px x 1000 px。
モード
タッピングモード
研究課題
PCLナノファイバーは、さまざまなバイオメディカル用途向けの有望な素材です。トポグラフィー分析によって、80 nm～400 nmのナノファイバーの直径が明らかになります。
- コンダクティブAFM
- 画像サイズ 564 nm x 564 nm
- 解像度 400 px x 400 px
詳細
絶縁ガラス基材中の導電性酸化物粒子からなるマイクロ電子部品。トポグラフィーと現在のマップの重ね合わせ。画像サイズ 564 nm x 564 nm、解像度 400 px x 400 px。
モード
コンダクティブAFM
研究課題
C-AFM は、誘電体コーティングの電気的に弱いスポットを特定したり、マイクロエレクトロニクス部品の導電経路や電極用の材料を画像化するのに使用できます。
- タッピングモード
- 画像サイズ 1 µm x 1 µm
- 解像度 500 px x 500 px
詳細
シリコンウェハの(100)配向面。表面粗さ評価のための高解像度トポグラフィー画像。画像サイズ 1 µm x1 µm、解像度 500 px x 500 px、RMS表面粗さ 137 pm。
モード
タッピングモード
研究課題
ウェハの表面粗さは、後工程の微細構造化における重要な品質パラメータです。AFMシステムには、150 pm程度の非常に低い表面粗さを持つ高度に研磨された材料の表面を、高品質かつ信頼性高く撮像することが求められます。
- タッピングモード
- 画像サイズ 1200 nm x 750 nm
- 解像度 800 px x 800 px
詳細
ヒ化ガリウムウェハの(100)配向面上で成長したヒ化ガリウム(GaAs)中の自己形成インジウムヒ素(InAs)量子ドット(QD) QDの寸法および横方向分布の評価のための高解像度トポグラフィー画像。画像サイズ 1200 nm x 750 nm、解像度 800 px x 800 px。
モード
タッピングモード
研究課題
量子ドット(QD)は、将来的にエレクトロニクスやデジタル化での応用が期待されており、集中的な研究活動が行われている分野です。個々のQDの寸法と横方向の分布は、製造プロセスにおいて重要な情報となります。画像に見えるテラスは、GaAs基板材料の原子ステップであり、個々のステップの高さは約280 pmです。
技術仕様
| Tosca 400 | Tosca 200 | |
| スキャナ | ||
| X-Yスキャン範囲 | 100 µm x 100 µm | 50 µm x 50 µm* |
| Zスキャン範囲 | 15 µm | 10 µm** |
| Zセンサーノイズ | 50 pm*** | |
| 最大スキャン速度 | 10 line/秒 | 5 line/秒 |
| サンプル | ||
| サンプルの最大径 | 100 mm (200 mm****) | 50 mm |
| サンプルの最大高さ | 25 mm (2 mm****) | |
| サンプルの最大重量 | <600 g | |
| 位置決め再現性 (双方向) | <1 µm | |
| ビデオマイクロスコープ | ||
| カメラ | カラー、5メガピクセル、CMOSセンサ | |
| 視野 | 1.73 mm x 1.73 mm | |
| 空間分解能 | 5 µm | |
| フォーカス | 電動フォーカス | |
| 全体視カメラ | ||
| カメラ | カラー、5メガピクセル、CMOSセンサ | |
| 視野 | 40 mm x 40 mm | |
| 空間分解能 | 50 µm | |
| サイドビューカメラ | ||
| サイドビューカメラ | モノクロ、視界 30 mm | |
| モード | ||
| 標準モード | コンタクトモード、タッピングモード(位相画像を含む)、水平力顕微鏡法、フォースカーブ測定 | |
| オプションモード | 接触共振モード（Constant Resonance Amplitude Imaging）、磁気力顕微鏡（MFM）、ケルビンプローブ顕微鏡（KPFM）、静電力顕微鏡（EFM）、導電性原子間力顕微鏡（Conductive AFM）、電流制御導電性原子間力顕微鏡（Current Control Conductive AFM） | |
| 寸法と重量 | ||
| AFMユニットのサイズ(直径 x 幅 x 高さ) | 490 mm x 410 mm x 505 mm | |
| コントローラのサイズ(直径 x 幅 x 高さ) | 340 mm x 305 mm x 280 mm | |
| AFMユニットの重量 | 51.1 kg | |
| コントローラの重量 | 7.8 kg | |
* オプションにより90 µm x 90 µmにアップグレード
** オプションにより12 µm または15 µmにアップグレード
*** 製造したアクチュエータ本体の平均値、最大値 80 pm
**** ウェハーステージ(オプション)使用時
Toscaはアントンパール社の登録商標(013412143)です。
アントンパール認定サービス
- 世界各地に350名以上のメーカー認定の技術者がいます。
- お客様の言語でサポート
- ライフサイクル全体にわたる資産の保護
- 3年保証
書類
アクセサリー
アクセサリー
アクセサリー
アクセサリー
お住まいの国からオンラインで購入できるかは、以下のオンライン販売状況をご確認ください。
お探しの商品が見つからない場合は、アントンパール社の営業担当にお問い合わせください。
Tosca 400 AFM用アクセサリー：ウェハーステージ
- 4インチ、6インチ、8インチウェハー用
- 完全に場所を特定可能なウェハーステージ
- 真空ピンセットによるウェハーハンドリングに対応
- 複数の自動測定
- 10 Hzで最大-40 dBのパフォーマンス、99.0 %防振
- 0.6 Hzから防振効果を発揮
- 負荷を自動で調整
- 圧縮空気が不要
- 空気伝播音からTosca AFMを保護
- 最大40 dBの音響減衰を実現