semi conductors

半導体

半導体デバイスは、現代のテクノロジーの中核となる存在です。アントンパール社は、密度や濃度の測定から表面電荷の分析に至るまで、半導体の特性を評価する様々なソリューションを提供することで、このダイナミックな業界において、技術の急速な進歩を視野に入れながら、お客様の製品の品質維持をサポートします。下記の装置リストでは、お客様固有の様々なニーズに応える測定装置をご紹介しています。また、当社に直接お問い合わせいただければ、最適なソリューションを見つけるお手伝いをいたします。

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Anton Paar 製品

選択項目: 全てのフィルターをリセットする X
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4軸ゴニオメータ用のドーム型冷却ステージ: DCS 500

DHS 1100は、グラファイト製ドームを備えた4軸ゴニオメーター用のドーム型加熱ステージです。25~1100 °Cまでの多結晶サンプルや薄膜のX線回折に使用されます。

4軸ゴニオメータ用のドーム型加熱ステージ:DHS 1100

Litesizer™ 100

Litesizer™ 500

PC制御可能な調整ステージ

ウルトラナノインデンテーションテスタ: UNHT³

コンパクトタイプカロテスト (CAT²c)

Perfect results with automatic cleaning and needle washing using up to three cleaning solvents.

サンプルチェンジャ: Xsample 530

ナノインデンテーションテスタ: NHT³

ナノスクラッチテスタ: NST³

ピンオンディスクトライボメータ: TRB³

マイクロインデンテーションテスタ(MHT³)

マイクロスクラッチテスタ(MST³)

マイクロ波でサンプルを濃縮するローター8EVAPは、モジュール型のマイクロ波サンプル前処理システム、Multiwave PRO用の革新的なアクセサリーです。8つの容器で同時に処理できるため、マイクロ波加熱を利用した酸とサンプル水溶液の濃縮作業を大幅に簡略化し、時間を短縮します。

マイクロ波による気化: ローター8EVAP

16の耐高圧容器を備えた酸分解ローター16HF100は、高速サンプルスループットと効率的な処理の実現を目指して設計された製品です。

マイクロ波前処理装置: ローター16HF100

16の耐圧容器を備えた酸分解ローター16MF100は、高速サンプルスループットと効率的な処理の実現を目指して設計された製品です。

マイクロ波前処理装置:ローター16MF100

ローター16SOLV HF100はマイクロ波加熱による有機及び無機サンプルの分解・抽出に対応し、Multiwave PROの可能性を広げます。スクリューキャップを交換すれば、簡単に酸分解用にアップグレードできます。

マイクロ波抽出: ローター16SOLV HF100

レオメータ: MCR 102、MCR 302、MCR 502

レベテスト®スクラッチテスタ(RST³)

動的粘弾性レオメータ測定ヘッド: DSR 502

Cora 7X00 Raman Spectrometer with Fiber-optic probe

卓上ラマン分光計: Cora 7X00

Reactor Chamber: XRK 900

反応チャンバー:XRK 900

固体表面分析用ゼータ電位測定装置: SurPASS™ 3

密度・比重・濃度計: DMA 4100 M

密度・比重・濃度計: DMA 4500 M

密度・比重・濃度計: DMA 5000 M

Abbematスタンダード

屈折計: Abbematシンプルライン及びスタンダードライン

Abbemat Heavy Duty

屈折計: Abbematプロフェッショナルライン

Cora 5X00 Raman Spectrometer

携帯型卓上ラマン分光計: Cora 5X00

携帯型密度・比重・濃度計: DMA 35 Basic

携帯型密度・比重・濃度計: DMA 35

日常的な固体表面分析向けのルーチン分析用固体表面ゼータ電位測定装置: SurPASS™ 3 Eco

Multiwave PROのローター8Nに温度プローブを取り付けた場合の上面図。

温度プローブ

High Temperature Vacuum Tribometer

真空トライボメータ(VTHT/VTRB)

粒子分析用ソフトウェア: Kalliope™

HPA-Sは、湿式化学におけるAAS、ICP、及びボルタンメトリ―の高圧サンプル前処理において究極の性能を発揮します。HPA-Sを用いた酸分解法は、標準手順として国際的にも高く評価されており、日常作業において高い性能を発揮する方法として数多くのラボで導入されています。

高圧分解:HPA-S高圧アッシャー

高温ウルトラナノインデンテーション(UNHT³ HTV)

HKT 1200N - 堅牢な設計の高温チャンバで、1200 °Cまでの様々な雰囲気下でのIn-Situ X線回折に使用されます。

高温オーブンチャンバー:HTK 1200N

高精度温度計:MKT 50/MKT 10

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Anton Paar 用途

Improve Digestion Quality and Save Money – Microwave Digestion rules out Open Digestion

Improve Digestion Quality and Save Money – Microwave Digestion rules out Open Digestion

Reliable elemental analysis results need robust sample preparation to destroy sample matrices or to separate matrix from analytes. The sample preparation step is by far the most error-prone and critical step of the analytical procedure.

Can I Monitor the Composition of my Pickling Bath?

Can I Monitor the Composition of my Pickling Bath?

Relevant for steel, aluminium, semiconductors, electronics

The influence of Surface Roughness on Instrumented Indentation Testing (IIT)

The influence of Surface Roughness on Instrumented Indentation Testing (IIT)

Nanoindentation and Nanoscratch of Oxide Coatings on Thin Film Polymer Substrates

Nanoindentation and Nanoscratch of Oxide Coatings on Thin Film Polymer Substrates

Mechanical properties of ultrananocrystalline diamond (UNCD) films with an influence of the nucleation density on the structure

Mechanical properties of ultrananocrystalline diamond (UNCD) films with an influence of the nucleation density on the structure

Nanoindentation approach to mechanical testing of extremely soft materials

Nanoindentation approach to mechanical testing of extremely soft materials

Nanotribological properties of Diamond like carbon thin flexible films on ACM rubber

Nanotribological properties of Diamond like carbon thin flexible films on ACM rubber

Physical characterization of coated surfaces - Part II : Scratch Test

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The Ultra Nanoindentation Tester: New generation of thermal drift free indentation

The Ultra Nanoindentation Tester: New generation of thermal drift free indentation

Gold nanoparticles: Size matters, and so does stability

Gold nanoparticles: Size matters, and so does stability

Gold nanoparticles are now used in many fields, from medicine to electronics, but each application has specific particle-size and stability requirements. Gold nanoparticles can be easily monitored with the Litesizer™ 500.

Identifying three different particle sizes in one sample with DLS

Identifying three different particle sizes in one sample with DLS

Particle suspensions often contain more than one size of particle. However, many particle analyzers cannot resolve particle mixtures, instead they detect an average of all sizes. The Litesizer™ 500 can detect three sizes in one sample.

Temperature-dependent GISAXS studies on thin films

Temperature-dependent GISAXS studies on thin films

The temperature-induced decomposition of a thin film structure has been studied using the SAXSpoint system with the new temperature-controlled GISAXS stage.

Collagen - A Validation Sample for SAXS Systems

Collagen - A Validation Sample for SAXS Systems

The performance of the SAXSpoint 2.0 system is evaluated by measurements of tendon collagen. SAXSpoint 2.0 produces data with excellent resolution in the entire angular range and delivers true 2D SWAXS images.

Detection of Native Oxide on Silicon Nitride Wafers

Detection of Native Oxide on Silicon Nitride Wafers

The zeta potential is a very sensitive parameter to detect traces of impurities on solid surfaces and their removal during surface cleaning.

SAXSpoint with MetalJet Source

SAXSpoint with MetalJet Source

SAXSpoint now integrates the high-brightness MetalJet X-ray source enabling ultra-fast SAXS measurements in the laboratory.

Chemical Mechanical Polishing / Planarization: Slurry Measurements

Chemical Mechanical Polishing / Planarization: Slurry Measurements

Relevant for the semiconductor industry

Industrial Waste Water Recycling and Treatment in the Semiconductor Industry

Industrial Waste Water Recycling and Treatment in the Semiconductor Industry

Relevant for the Semiconductor Industry

In-situ GISAXS heating experiments on self-assembled Gold nanoparticles

In-situ GISAXS heating experiments on self-assembled Gold nanoparticles

Thermal morphology changes of self-assembled Gold nanoparticles have been studied using the SAXSpoint system with the temperature controlled GISAXS stage.

Size and shape of gold nanoparticles in toluene via SAXS

Size and shape of gold nanoparticles in toluene via SAXS

A solution of colloidal gold nanoparticles was characterized for size and shape by the SAXSpace system.