リアルフォース及び変位センサを搭載した超高分解能ナノインデンタ(UNHT³)を使用して、材料の機械的特性をナノスケールで計測することができます。UNHT³は、特許取得済みの独自のアクティブ表面リファレンスシステムにより、熱ドリフト及びコンプライアンスの影響が実質的に排除されます。
したがって、ポリマーや非常に薄い膜、軟組織などを含むあらゆる種類の材料を、原子スケールからナノスケールにわたって長時間測定するのに最適です。超低温または超高温での測定には、真空チャンバーバージョン(UNHT³ HTV)を利用できます。これは-150 °C～800 °Cの温度と10-7 mbarまでの真空レベルに適用できます。
独自のStep表面試験プラットフォーム上で、機械的インデンテーション試験ヘッドとスクラッチ試験ヘッド、ナノトライボメーター、さらには原子間力顕微鏡を組み合わせます。
主な機能
最も高精度なナノインデンテーションテスタ
他の場合では推定に頼る値をUNHT³で測定: 押し込み深さセンサと荷重センサの2つがそれぞれに独立しているため、力と押し込み深さの正確な制御が可能です。また、NHT³は特許取得済みの独自設計であるアクティブトップリファレンスを備えています。リファレンスインデンタがサンプルの表面位置を監視しながら、測定用インデンタが測定を行うため、熱ドリフトとコンプライアンスの問題を全て除去します。この独自設計により、広範な押し込み深さ(数nm～最大100 μm)と押し込み荷重(数μN～最大100 mN)に対応できます。
市場最高の安定性を誇るナノインデンタ
独自の特許取得済みアクティブトップ表面リファレンスと、熱膨張のない独自のZerodur素材を組み合わせたUNHT³は、深さを補正することなく、熱ドリフトを無視できるレベル(10 fm/sec)まで縮小する唯一のナノインデンテーションテスタです。この他にはない安定性を備えたUNHT³は、ナノインデンテーションテスタとしては唯一、クリープ測定などの長期間測定に使用できます。
短時間で多数を測定(1時間あたり600件以上を測定可能)
熱安定性に優れているため、サンプルを取り付けた後、温度が安定するまで何時間も待つことなく測定をすぐに開始できます。このため、1日で多数のサンプルを個別に測定できます。クイックマトリックス(Quick Matrix)モードでは、1時間あたり600件以上の測定が可能で、実際のインデンテーション曲線が得られます。ユーザー定義プロファイル、測定プロトコル、複数サンプル測定、カスタマイズ可能なレポートといった特長が、市場で最も高いスループットの実現を可能にしています。
「Sinusモード」で利用できる動的粘弾性測定(DMA)
Sinusモードでは、DMA分析を行うことで、薄膜からバルク材料までにわたるサンプルの機械的特性の深さ方向分析(HIT及びEITと深さ)と粘弾性特性評価(E'、E'': 貯蔵/損失弾性率、tan δ)を行うことができます。また、すばやい圧子校正や応力-ひずみ分析などの追加機能も提供されます。
高真空下、最大800°Cの高温下での測定
UNHT³のHTVバージョンは、完全自動手順を搭載したウルトラナノインデンタで、この熱ドリフトの最小化は全温度範囲で<3 nm/分を達成できます。これは、サンプルと圧子の温度を0.1 °Cの精度で連続制御する、特許取得済みの独自加熱管理で実施します。このインデンテーションソフトウェアは、リアルタイムに相互に作用する加熱と環境条件をシステムで制御し、熱ドリフトを最小限に抑えて所望の測定をすべて開始します。様々な温度段階に様々な種類の圧子(標準UNHT³でも可能)の組合せを予定でき、この機器は事前に設定されたマトリックスに従って自動的に測定を実施します。
技術仕様
| 最大荷重[mN] | 50 / 100(1) |
| 荷重分解能[nN] | 3 |
| 荷重ノイズフロア[rms] [μN] | ≤0.05 |
| 荷重速度[mN/min] | 最大1000 |
| 深さレンジ[μm] | 50 / 100(1) |
| 深さ分解能[nm] | 0.003 |
| 深さノイズフロア[rms] [nm] | ≤0.03 |
| サンプリングレート[kHz] | 192 |
| オプション | |
| 加熱ステージ(最高200 ℃) | ✔ |
| 冷却ステージ(最低-120 ℃) (2) | ✔ |
| 液体試験 | ✔ |
(1)オプション
(2)環境チャンバー使用時
特許
UNHT³のアクティブトップ表面リファレンス: US 7,685,868 B2
標準規格
ASTM
アントンパール認定サービス
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- 3年保証
書類
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BERKOVICH DIAMONDFOR UNHT3/NHT3
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弾性率の証明書付き試料:
直径 = 25 mm
高さ = 5 mm (台座部分を除く)
試料固定用の台座を含む高さ 21 mm
インデンテーション試験: ガイドブック
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