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ステッププラットフォーム用アクセサリ原子間力顕微鏡(AFM)
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- 幅広い科学・産業用途に対応する汎用AFMソリューション
- ナノスケールの表面情報を提供するイメージング・分析機能
- サンプルの非破壊分析
数ナノメートルの特徴を持つハイテク表面には、表面形態学が不可欠です。AFMは、汎用性の高いStepプラットフォーム上で当社のスクラッチ試験機やインデンテーション試験機と組み合わせることができ、こうした特徴を周囲条件下で簡単に調べることができます。ナノスケールの分解能、精密なマッピング、そして材料を評価するための多目的な定量測定が可能です。
主な機能
表面形状を探索し、正確で定量的な洞察を得る
原子間力顕微鏡は、ナノスケールの表面情報を提供することで、イメージングと分析能力を向上させます。表面形状 (最小数ナノメートル) や表面粗さ (1ナノメートル以下) に関しては、精度が他の測定技法を上回り、非破壊イメージングツールとして機能します。
内蔵カメラ：詳細な表面の全体像
内蔵のトップビューカメラは、表面の詳細な全体像を保証し、カンチレバー下のサンプル領域の正確な位置測定とアライメント調整を可能にします。サイドビューカメラは、AFMが最終的な自動アプローチにシームレスに移行する前に、数マイクロメートルの初期迅速アプローチをガイドします。さらに、ソフトウェアリンクにより、圧痕やスクラッチパスを簡単に視覚化できます。また、アライメント溝付きのカンチレバーを使用することで、レーザーアライメント調整が不要となるため、待ち時間を最小限に抑え、実験中のハンドリングを簡素化することができます。
さまざまなモードによる徹底した検査
AFMは従来の形状探索を超え、相情報のような追加的な材料特性や、磁気特性、電気特性の可視化を実現します。
仕様
| 機能 | 説明 |
| 最大スキャン範囲 (XY) | 110 µm |
| 最大Zレンジ | 22 µm |
| XY直線性の平均誤差 | <0.6% |
| Z測定のノイズレベル (RMS、静的モード) | <500 pm |
| Z測定のノイズレベル (RMS、動的モード) | <150 pm |
| 取り付け | 取り外し可能なスキャンヘッド (86×45×61 mm)、3点クイックロック取付プレート付き |
| カンチレバーのアライメント調整 | アライメント溝付きカンチレバーの自動セルフアライメント調整 |
| 自動アプローチ範囲 | 4.5 mm (内部光学系の焦点面より1.5 mm下) |
| サンプル観察 | デュアルUSBビデオカメラシステム (トップビューとサイドビュー同時) 5 MP、1.4×1 mm、カラートップビュー5 MP、3.1×3.5 mm、サンプルとカンチレバーのカラーサイドビュー |
| サンプル照明 | 白色LED (輝度0～100%)、トップビュー用アキシャル照明 |
アントンパール認定サービス
サービスとサポートにおけるアントンパールの品質：
- 世界各地に350名以上のメーカー認定の技術者がいます。
- お客様の言語でサポート
- ライフサイクル全体にわたる資産の保護
- 3年保証
書類
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