ウルトラナノインデンテーション試験機：
UNHT³
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- 周囲条件下での測定
- 室温から最高200 °Cまでのさまざまな試験温度に対応
UNHT³ウルトラナノインデンテーション試験機は、荷重センサと深さセンサを搭載し、ナノスケールにおける材料の機械的特性を評価します。UNHT³は、特許取得済みのトップリファレンス方式により、熱ドリフトやコンプライアンスの影響を実質的に排除します。様々な材質の材料（ポリマー、薄膜、軟組織を含む）における長時間測定に適しています。極低温または極高温での測定には、真空チャンバー仕様（UNHT³ HTV）がご利用いただけます（最大800 °C：真空圧力10-7 mbar）。
UNHT³ヘッドをStepプラットフォーム上の他のスクラッチ試験機やインデンテーション試験機と組み合わせれば、ナノ/マイクロ/マクロ領域を完全にカバーすることができます。AFMモジュールを追加すれば、1台の装置で表面機械特性の評価が可能になります。
主な機能
最も高精度なナノインデンテーション試験機
UNHT³は、独立した深さセンサと荷重センサにより、荷重と押し込み深さを正確に制御し、他社が推定に頼る値を「測定」します。さらに、UNHT³は特許取得済みのトップリファレンス方式を採用しています。測定用圧子が測定を実行している間、リファレンス圧子がサンプルの表面を検知し続けるため、熱ドリフトやコンプライアンスの問題が発生しません。そのため、広範な押し込み深さ（数nm～100 μm）と押し込み荷重（数μN～100 mN）に対応しています。
市場最高の安定性を誇るナノインデンテーション試験機
独自のトップリファレンス方式と、熱膨張のない素材「Zerodur」を組み合わせたUNHT³は、深さ補正を一切行わずに10 fm/secという極めて低い熱ドリフトを実現できる、唯一のナノインデンテーション試験機です。これにより、クリープ試験などの長時間測定に利用できる、唯一のナノインデンテーション試験機となっています。
ピエゾステージによる高速測定
UNHT³ヘッドの卓越した性能、クイックモードの効率性、そして100×100 μmのピエゾステージの先進機能を組み合わせることで、比類のない速度でサンプル表面の精密なインデンテーションマッピングを実現できます。ピエゾステージの10 nmという優れた位置決め精度により、500 nm以下のインデンテーション間隔も可能となり、高い信頼性で詳細な特性評価を行います。カスタマイズ可能なユーザープロファイル、多様な測定プロトコル、効率的な複数サンプル処理、カスタマイズされたレポート機能により生産性がさらに向上し、リアルタイムのインデンテーション曲線と共に、業界トップクラスの1時間あたり測定1000回以上のスループットを実現します。
「Sinusモード」による動的粘弾性測定（DMA）
Sinusモードでは、DMA分析を行うことで、薄膜からバルク材料まで、機械的特性の深さプロファイリング（HIT、EITと深さの関係）や粘弾性特性（貯蔵弾性率E'、損失弾性率E''、tan δ）を評価することができます。また、迅速な圧子校正や応力-ひずみ分析などの追加機能もご利用いただけます。
Stepプラットフォーム：装置の汎用性を最大化
Stepプラットフォームは、完全な表面機械特性試験を可能にします。ナノインデンテーション試験のみを実施する場合でも、スクラッチ試験やAFM測定で試験結果を補完する場合でも、Stepプラットフォームは安定性、ノイズアイソレーション、モジュール性の面で常に最良のソリューションとなります。
高真空下、最高800 °Cの高温下での測定
UNHT³のHTVバージョンは、完全自動の熱ドリフト低減手順を搭載した唯一のナノインデンテーション試験機であり、全温度範囲において3 nm/min未満の精度を実現します。これは、特許取得済みの独自の加熱管理技術により、サンプルと圧子の温度を0.1 °Cの精度で同時に制御することで達成されます。インデンテーションソフトウェアが加熱条件と環境条件を制御し、システムとリアルタイムに連携することで熱ドリフトを最小限に抑え、必要な測定をすべて開始します。温度ステップの異なる任意のインデンテーションセット（UNHT³の標準モデルでも可能）を計画でき、事前設定されたマトリックスに従って自動的に測定が行われます。
技術仕様
| 最大荷重[mN] | 50 / 100(1) |
| 荷重分解能[nN] | 3 |
| 荷重ノイズフロア[rms] [μN] | ≦0.05 |
| 荷重速度[mN/min] | 最大1000 |
| 深さレンジ[μm] | 50 / 100(1) |
| 深さ分解能[nm] | 0.003 |
| 深さノイズフロア[rms] [nm] | ≦0.03 |
| サンプリングレート[kHz] | 192 |
| オプション | |
| 加熱ステージ（最高200 °C） | ✔ |
| 液体試験 | ✔ |
(1)オプション
特許
UNHT³用トップリファレンス方式：US 7,685,868 B2
標準規格
ASTM
標準規格
ASTM
アントンパール認定サービス
- 世界各地に350名以上のメーカー認定の技術者がいます。
- お客様の言語でサポート
- ライフサイクル全体にわたる資産の保護
- 3年保証
書類
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Applications of indentation in polymer industry アプリケーションレポート
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Dynamic mechanical analysis by nanoindentation アプリケーションレポート
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Fracture toughness measurements by nanoindentation アプリケーションレポート
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High temperature stress-strain analysis of P91 steel アプリケーションレポート
関連製品
補完製品
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高分解能位置決めモジュール：
ピエゾステージ 100×100 μm
ウルトラナノインデンテーション試験機：UNHT³ スタンダード
- 卓越した位置決め精度
- 広範囲にわたる高精度インデンテーション
- シームレスな統合と簡便なプラットフォームアップグレードを実現
ステッププラットフォーム用アクセサリ原子間力顕微鏡(AFM)
ウルトラナノインデンテーション試験機：UNHT³ スタンダード | HTV
- 幅広い科学・産業用途に対応する汎用AFMソリューション
- ナノスケールの表面情報を提供するイメージング・分析機能
- サンプルの非破壊分析
Stepプラットフォーム用アクセサリー：
加熱モジュール
ウルトラナノインデンテーション試験機：UNHT³ スタンダード | HTV
- 450 °Cまでの試験温度に対応する優れた熱安定性
- 表面の機械的特性と温度の相関
- Stepプラットフォームに直接設置
