ウルトラナノインデンテーション試験機 (UNHT³)
- 周囲条件下での測定
- 室温から最高200 °Cまでのさまざまな試験温度に対応
実荷重センサと実変位センサを搭載したUNHT³超高分解能ナノインデンテーション試験機は、材料の機械的特性をナノスケールで検査します。UNHT³は、特許取得済みのアクティブ表面参照システムにより、熱ドリフトやコンプライアンスの影響を実質的に排除します。ポリマー、極薄層、軟組織など、原子レベルからナノスケールまで、あらゆる種類の材料の長期測定に適しています。超低温または超高温での測定には、真空チャンバー仕様 (UNHT³ HTV) をご用意しています (最高800 °C、最低10-7 mbar)。
UNHT³ヘッドは、Stepプラットフォーム上で他のスクラッチ試験機やインデンテーション試験機と組み合わせることで、ナノ/マイクロ/マクロ領域を完全にカバーすることができます。AFMモジュールを追加すれば、1台の装置で表面機械特性の完全な評価が可能になります。
主な機能
最も高精度なナノインデンテーション試験機
UNHT³は、独立した深さセンサと荷重センサにより、荷重と押し込み深さを正確に制御し、他社が推定に頼る値を「測定」します。さらに、UNHT³は特許取得済みのアクティブ表面参照機能を採用しています。1本の参照圧子でサンプルの表面位置をモニタリングしながら、測定圧子で測定を行うため、熱ドリフトやコンプライアンスの問題が発生しません。そのため、幅広いレンジの押し込み深さ (数nm~100 μm) と押し込み荷重 (数μN~100 mN) に対応しています。

市場最高の安定性を誇るナノインデンテーション試験機
独自の特許取得済みアクティブ表面参照機能と、熱膨張のない独自のZerodur素材を組み合わせたUNHT³は、深さを補正することなく、熱ドリフトを無視できるレベル (10 fm/sec) まで抑えることのできる唯一のナノインデンテーション試験機です。そのため、UNHT³はクリープ試験のような長時間の測定を実現できる唯一のナノインデンテーション試験機となっています。

1時間に600回以上測定
UNHT³ウルトラナノインデンテーション試験機が誇る熱安定性により、サンプルをセットした後、温度が安定するまで待つことなく測定をすぐに開始できます。そのため、1日で大量のサンプルを個別に測定できます。Quick Matrixモードでは、1時間あたり最大600回の測定で、実際のインデンテーション曲線を得ることができます。ユーザープロファイル、測定プロトコル、複数サンプル測定、カスタマイズ可能なレポートにより、市場で最もスループットの高い装置です。

「Sinusモード」で利用できる動的粘弾性測定 (DMA)
Sinusモードでは、DMA分析を行うことで、深さに対する機械的特性の変化 (HIT、EITと深さの関係) を調べ、薄膜やバルク材料のサンプルの粘弾性特性 (貯蔵弾性率E'、損失弾性率E''、tanδ) を評価することができます。 また、迅速な圧子校正や応力-ひずみ分析などの追加機能もあります。

Stepプラットフォーム:装置の汎用性を最大化
Stepプラットフォームは、完全な表面機械特性試験を可能にします。ナノインデンテーション試験のみを実施する場合でも、スクラッチ試験やAFM測定で試験結果を補完する場合でも、Stepプラットフォームは安定性、ノイズアイソレーション、モジュール性の面で常に最良のソリューションを提供します。

高真空下、最高800 °Cの高温下での測定
UNHT³のHTVバージョンは、完全自動手順を搭載したウルトラナノインデンテーション試験機で、全温度範囲で<3 nm/分の熱ドリフトの最小化を実現します。これは、サンプルと圧子の温度を0.1 °Cの精度で連続制御する、特許取得済みの独自加熱管理で実施します。このインデンテーションソフトウェアは、リアルタイムに相互に作用する加熱条件と環境条件をシステムで制御し、熱ドリフトを最小限に抑えて所望の測定をすべて開始します。さまざまな温度ステップにさまざまな種類の圧子のセットを予定でき (標準UNHT³でも可能)、事前に設定されたマトリックスに従って装置が自動的に測定を行います。

仕様
最大荷重[mN] | 50 / 100(1) |
荷重分解能[nN] | 3 |
荷重ノイズフロア[rms] [μN] | ≦0.05 |
荷重速度[mN/min] | 最大1000 |
深さレンジ[μm] | 50 / 100(1) |
深さ分解能[nm] | 0.003 |
深さノイズフロア[rms] [nm] | ≦0.03 |
サンプリングレート[kHz] | 192 |
オプション | |
加熱ステージ (最高200 °C) | ✔ |
液体試験 | ✔ |
(1)オプション
特許
UNHT³用アクティブ表面参照機能:US 7,685,868 B2
標準規格
ASTM
標準規格
ASTM
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