高分解能位置決めモジュール:
ピエゾステージ
- 卓越した位置決め精度
- 広範囲にわたる高精度インデンテーション
- シームレスな統合と簡便なプラットフォームアップグレードを実現
ピエゾステージは、精度が最も重要となる場面において、単一相および複合材料の広範囲にわたる高分解能インデンテーションマッピングを実現します。個々の相特性の評価、表面均質性の評価、あるいは熱機械的影響の研究など、あらゆる用途で一貫して正確な結果を保証します。アントンパール社のUNHT³ヘッドと組み合わせれば、業界トップレベルのナノインデンテーション性能を発揮できます。
主な機能
卓越した位置決め精度を誇るピエゾステージ
10 nmの位置決め精度により比類のない位置制御を実現し、各インデンテーション測定が思い通りの位置で正確に行われることを保証します。

広範囲にわたる高精度インデンテーション
ピエゾステージは測定エリアが100×100 μmと広大で、詳細な広範囲インデンテーションマッピングを効率的に行うことができます。これにより、広大な表面領域にわたって精密な機械的特性評価を行い、一貫性のある結果を得ることができます。

シームレスな統合と簡便なプラットフォームアップグレードを実現
ピエゾステージは、新規プラットフォーム購入時のオプションとして、あるいは既存装置のアップグレードとして、簡単に組み込むことができます。この柔軟なアプローチにより、測定能力を簡単に強化でき、ダウンタイムを最小限に抑えつつ、即座に性能向上を実現します。

技術仕様
仕様 | 値 |
移動範囲 X | 100 μm |
移動範囲 Y | 100 μm |
分解能 XY | 0.2 nm |
位置決め精度 XY | 10 nm |
ピエゾステージの寸法 | 100×100×20 mm |
アントンパール認定サービス
- 世界各地に350名以上のメーカー認定の技術者がいます。
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- ライフサイクル全体にわたる資産の保護
- 3年保証