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高分解能位置決めモジュール:
ピエゾステージ

モデル:
  • 卓越した位置決め精度
  • 広範囲にわたる高精度インデンテーション
  • シームレスな統合と簡便なプラットフォームアップグレードを実現

ピエゾステージは、精度が最も重要となる場面において、単一相および複合材料の広範囲にわたる高分解能インデンテーションマッピングを実現します。個々の相特性の評価、表面均質性の評価、あるいは熱機械的影響の研究など、あらゆる用途で一貫して正確な結果を保証します。アントンパール社のUNHT³ヘッドと組み合わせれば、業界トップレベルのナノインデンテーション性能を発揮できます。

主な機能

卓越した位置決め精度を誇るピエゾステージ

10 nmの位置決め精度により比類のない位置制御を実現し、各インデンテーション測定が思い通りの位置で正確に行われることを保証します。

広範囲にわたる高精度インデンテーション

ピエゾステージは測定エリアが100×100 μmと広大で、詳細な広範囲インデンテーションマッピングを効率的に行うことができます。これにより、広大な表面領域にわたって精密な機械的特性評価を行い、一貫性のある結果を得ることができます。

シームレスな統合と簡便なプラットフォームアップグレードを実現

ピエゾステージは、新規プラットフォーム購入時のオプションとして、あるいは既存装置のアップグレードとして、簡単に組み込むことができます。この柔軟なアプローチにより、測定能力を簡単に強化でき、ダウンタイムを最小限に抑えつつ、即座に性能向上を実現します。

技術仕様

仕様
移動範囲 X100 μm
移動範囲 Y100 μm
分解能 XY0.2 nm
位置決め精度 XY10 nm
ピエゾステージの寸法100×100×20 mm

アントンパール認定サービス

サービスとサポートにおけるアントンパールの品質:
  • 世界各地に350名以上のメーカー認定の技術者がいます。
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  • ライフサイクル全体にわたる資産の保護
  • 3年保証
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