高解析定位模組：
Piezo 位移台

主要功能

具卓越重新定位精度之 Piezo 位移台

以 10 nm 的重新定位精度達成無與倫比之位置控制，確保每次壓痕量測皆在預定位置精準執行。

在大面積上執行高精度壓痕

Piezo 位移台提供 100 μm × 100 μm 的大範圍測量區域，使您能有效執行詳細的大面積壓痕映射。此擴充能力可於大面積表面上提供精確的力學特性分析與一致的結果。

無縫整合且易於平台升級

Piezo 位移台可輕鬆整合，可作為購買新平台時的選配，或作為既有儀器的升級套件。此彈性方案可讓您輕鬆提升測量能力，確保最小停機時間並即刻獲得效能提升。