AXO DRESDEN社が開発・製造する多層膜ベースのX線光学製品は、X線の単色化、集光、平行化を目的として設計されており、XRD、XRF、SAXS、イメージング、各種シンクロトロン実験などの用途に適したビームに整形します。
当社は、様々な用途に合わせた高度なX線光学製品を幅広く取り揃えております。平行ビーム光学製品（PBO、Göbelミラー）は、通常ビームサイズ0.5～2.5 mmで、平行性の高いX線ビームを提供し、X線回折（XRD）に求められる低ビーム発散を実現します。一方、高い集光強度が求められる用途に対しては、集光型X線光学製品が、発散ビームまたは平行ビームを細い集光ラインまたはスポットへと変換します。これらの集光サイズは通常30～500 µmであり、XRF、XRD、イメージングなどの手法に最適です。
二次元コリメート光学系（ASTIX-c）は、発散したX線を、辺長0.5～2.5 mmの正方形断面を持つ低発散の平行ビームへと変換します。これを補完するのが、当社の二次元集光光学系（ASTIX-f）です。この製品は、高強度のX線ビームを集光し、直径数百µm程度（サンプルサイズによる）から、最小で約30 µm（FWHM）の集光スポットを形成します。
当社の汎用性の高いX線光学システムは、多層膜光学製品を単独で、または他のX線光学製品と組み合わせて用いることで、単色性を保ったまま、一次元・二次元のX線ビームを、平行化、集光、圧縮、拡張といった形態で生成します。その一例であるツインミラー構成では、非常に広いダイナミックレンジにわたり、高精度なX線反射率測定が可能です。このほか、X線回折、トモグラフィー、シンクロトロン実験などの用途にも対応しています。
幅広い光子エネルギーを想定して設計された当社のX線光学製品は、クロム（Cr）、コバルト（Co）、銅（Cu）、ガリウム（Ga）、モリブデン（Mo）、ロジウム（Rh）、銀（Ag）、インジウム（In）、タングステン（W）など、一般的に使用されるアノード材料に対応しております。 これにより、標準的な回折用のCu Kα線から、応力解析用のCr線やCo線、高密度サンプルや高分解能データ用のMo線、Ag線、In線に至るまで、あらゆる用途において最適な性能を発揮します。各多層光学製品は、対応する線に対して最大光束、スペクトル純度、ビーム品質を確保するよう調整されています。
多層膜ミラーは、特定の焦点距離、小さなビームサイズ、あるいは低発散といった要件に応じて、カスタム設計することが可能です。外形パラメーターが決まっている場合でも、多層膜コーティングを調整することで、ミラーの分光特性をさらに最適化できます。最適化は通常、ビームフラックス、分光分解能、または広帯域反射のいずれかを目的として行われます。これは、求められる要件が光子強度、エネルギー選択性、あるいは（シンクロトロン、プラズマ、レーザー装置などに見られる）広いエネルギー範囲への対応であるかに応じて使い分けられます。
シンクロトロンビームラインにおいて、狭いエネルギー帯域幅または広いエネルギー帯域幅を選択する場合、モノクロメーター装置が必要となります。多層膜コーティングは様々な構成に対応しており、EUVから約100 keVまでの硬X線領域において、高分解能ビームまたは高フラックスビームのいずれかを提供します。平坦なグレーデッド多層膜コーティングは、発散ビームにも対応できるほか、分析装置にも利用できます。その他の用途には、広帯域または帯域通過設計や、ブリュースター角付近で動作する偏光ミラーなどがあります。
| 典型的な利用可能スペクトル範囲（シンクロトロン） | 50 eV～>100 keV |
| 典型的なアノード材料（X線管） | Cr、Co、Cu、Ga、Mo、Rh、Ag、In、W（その他はご要望に応じて対応） |
| 典型的な焦点距離 | 100～ 2,500 mm（設置構成や必要なビームサイズによる） |
| 光学サイズ | ラボ用光学系：通常40～150 mm シンクロトロン用光学系：通常最大500 mm |
| 分解能 | 0.25% <ΔE/E <3%（周期性多層膜） ΔE/E >5%（非周期性多層膜、ご要望に応じて対応） |
| 厚み均一性 | Δd/d <0.2% |
