This is a required field.
Invalid
Part number

Příslušenství pro Tosca 400 AFM:
Základna pro měření křemíkových desek (Wafer Stage)

  • Pro 4, 6 a 8 palcové desky
  • Plně adresovatelná základna pro křemíkové desky
  • Navrženo pro manipulaci s deskami pomocí vakuové pinzety
  • Vícenásobné, automatizované měření
Online price only | excl.incl. 0VAT
Price
upon request
Purchase information
Buy Anton Paar instruments online
Part number:
Check online availability Get a quote Buy this product online
Delivery time: %1$s – %2$s working days %1$s – %2$s weeks %1$s – %2$s months

Struktury křemíkových desek jsou čím dál menší a hustota integrovaných součástek neustále roste. Aby bylo možné provádět analýzu těchto struktur v menším než nanometrovém měřítku nedestruktivním způsobem za využití mikroskopie atomárních sil, je nutné provést povrchovou inspekci celé křemíkové desky. Základna pro měření křemíkových desek Anton Paar je dokonalým příslušenstvím, které vylepší mikroskopii atomárních sil Tosca 400 na plně automatizovaný přístroj. 

Key features

Měření křemíkových desek až do velikosti (průměru) 200 mm bez nutnosti rozřezání

Měření křemíkových desek až do velikosti (průměru) 200 mm bez nutnosti rozřezání

Základna pro měření křemíkových desek (Wafer Stage) pro AFM Tosca 400 přináší největší možnou flexibilitu v oblasti AFM analýzy celých ploch křemíkových desek. Díky základně (Wafer Stage) můžete měřit křemíkové desky o velikosti (průměru) 100 mm, 150 mm a 200 mm. Ty jsou uchyceny pomocí podtlakového sklíčidla na křemíkové desky. Rovněž je možné automaticky měřit více fragmentů desek pomocí standardní základny, na který můžete přepnout za méně než 3 minuty.

Využijte nejintuitivnější měření šarží

Využijte nejintuitivnější měření šarží

Reprezentativní statistiky z AFM dat při analýze celých křemíkovýchdesek jsou zásadní při analýze selhání a optimalizaci procesů. Naše funkce pro měření šarží tyto úlohy plně automatizuje. Poskytuje intuitivní možnosti pro přidávání, úpravu, změnu pořadí a redefinování stávajících měření v tabulce šarží. V rámci standardizovaných měření lze vytvářet a načítat předdefinovanésoubory šarží. I analýzu těchto měření lze provádět zcela automaticky díky předdefinovaným šablonám v softwaru Tosca Analysis. 

Kdykoli budete mít možnost najít a prověřit jakékoliv místo na vaší křemíkové desce

Kdykoli budete mít možnost najít a prověřit jakékoliv místo na vaší křemíkové desce

Integrované automatické vyrovnání křemíkové desky umožňuje provádět úplnou navigaci pomocí absolutních souřadnic. Díky tomu můžete kdykoli na vaší křemíkové desce najít konkrétní místa a přemístit se na jiná. Díky tomu se optimalizují procesy výroby křemíkových desek. Máte také možnost načíst stávající souřadnice z jiných analytických nástrojů a provést AFM Tosca analýzu s v naprosto stejné pozici. Díky tomu můžete snadno a rychle nalézt defekty na křemíkové desce. 

Technical specifications

Velikost (průměr) křemíkové desky100 mm (4”), 150 mm (6”), 200 mm (8”)
Max. výška křemíkové desky2 mm

Anton Paar Certified Service

The Anton Paar quality in service and support:
  • More than 350 manufacturer-certified technical experts worldwide
  • Qualified support in your local language
  • Protection for your investment throughout its lifecycle
  • 3-year warranty
Learn more

Compatible instruments