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超纳米压痕测试仪 (UNHT³)

超高精度、高稳定性纳米压痕测试仪

UNHT³ 高精度超纳米压痕测试仪采用真实力传感器和位移传感器,可用于测量材料在纳米尺度下的机械性能。UNHT³ 采用独特的主动表面参比专利技术,几乎消除了热漂移和框架刚度的影响。因此,非常适用于对所有类型的材料(包括聚合物、纳米涂层和软组织)进行长时间测量。

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主要特点

用于低载荷测量的最佳的计量型纳米压痕测试仪

  • 独特的主动表面参比专利技术:参考参比针尖记录样品的表面位移位置,同时针尖压痕完成测量,以此扣除热漂移和框架刚度影响。
  • UNHT3 可测量他人估计的结果:两个独立式位移和载荷传感器可真正可靠地控制载荷和压入位移。
  • 最大量程:从小压入位移(几纳米)到大压入位移(高达 100 μm),从低载荷(10 μN)到高载荷(100 mN)

市场上稳定性最高的纳米压痕测试仪

  • 热漂移低至 10 fm/sec,可忽略,无需进行任何修正
  • 独特的蠕变测试过程的长期稳定性
  • 即使在高载荷下也保持高框架刚度 (>108 N/m)
  • 独特的 ZerodurÒ 材料没有热膨胀性,因此消除了测量过程中温度变化的影响

“快速点阵”压痕模式带“模板”模式

  • 采用“快速点阵”压痕模式的快速测量点阵:每小时测试量高达 600 次,符合 ISO14577 仪器化压入测试 (IIT) 要求
  • 全新“模板”模式可用于从自动数据导出并创建更快速灵活的分析
  • 定义自动测量的测量模板和多样品管理

高精度的纳米压痕测试仪用于进行准确的表面检测

  • 超灵敏表面接触点判定包含接触刚度判定
  • 测量凝胶和硬质材料
  • 载荷分辨率为 0.003 µN
  • 载荷本底噪音小于 0.05 µN
  • 位移分辨率为 0.003 nm
  • 位移本底噪音小于 0.03 nm

内置多功能:多种测试和分析模式

  • 多种测试模式:连续多周期 (CMC)、恒应变速率、用户自定义、高级点阵
  • 动态力学测试 (DMA)包含“正弦”模式
  • 各种不同机械性能的分析:硬度、弹性模量、储能和损耗模量、蠕变、应力 - 应变、赫兹应力分析
  • 环境控制:真空、液体、温度和相对湿度

典型应用

  • 聚合物的粘弹特性
  • 硬质涂层(PVD、CVD 涂层):厚度小于 1 微米
  • 聚合物薄膜
  • 晶圆:厚度范围为 10 nm 至 500 nm
  • 光学和玻璃:薄膜和/或表面特性表征
  • 内在骨组织的质量
  • 超纳米金刚石 (UNCD) 薄膜的机械性能

技术指标

载荷
最大载荷 100 mN
分辨率 3 nN
本底噪音 <0.05 [rms] [μN]*
位移
最大位移 100 μm
分辨率 0.003 nm
本底噪音 <0.03 [rms] [nm]*
 
载荷框架刚度 > 107 N/m
国际标准 ISO 14577, ASTM E2546

*理想实验室条件下规定的本底噪音值,并使用减震台。

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