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Accessori per Tosca 400 AFM:
supporto per wafer

  • Per wafer da 4, 6 e 8 pollici
  • Supporto wafer con controllo completo
  • Progettato per la manipolazione di wafer con pinzette a vuoto
  • Misure multiple e automatiche
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Le strutture dei wafer stanno diventando sempre più piccole e la densità dei componenti integrati è in continua crescita. Per poter analizzare queste strutture sub-nanometriche in modo non distruttivo utilizzando la microscopia a forza atomica è necessario eseguire un'ispezione della superficie di tutto il wafer. Il supporto per wafer di Anton Paar è l'accessorio perfetto per aggiornare il microscopio a forza atomica Tosca 400 rendendolo uno strumento di analisi dei wafer completamente automatizzato. 

Principali caratteristiche

Misura un wafer fino a 200 mm senza tagliarlo

Misura un wafer fino a 200 mm senza tagliarlo

Il supporto per wafer di Tosca 400 offre la più grande flessibilità quando si tratta di analisi AFM di wafer. In questo supporto portacampione è possibile misurare wafer da 100 mm, 150 mm e 200 mm. Questi sono fissati con un mandrino per wafer sottovuoto. Anche frammenti di wafer multipli possono essere misurati automaticamente con il supporto portacampione standard, che si può installare in meno di 3 minuti.

Sfrutta la possibilità di misurare in maniera intuitiva i lotti di produzione

Sfrutta la possibilità di misurare in maniera intuitiva i lotti di produzione

Le statistiche rappresentative dai dati AFM quando si analizzano i wafer completi sono essenziali per l'analisi dei difetti e nell'ottimizzazione dei processi. La nostra funzione di misura dei lotti automatizza completamente queste attività. Offre una configurazione intuitiva per aggiungere, modificare, riordinare e ridefinire le misure esistenti nella tabella dei lotti. Possono essere creati e caricati file di lotti predefiniti per misure standardizzate. Anche l'analisi di queste misure può essere eseguita in modo completamente automatico con l'aiuto di modelli predefiniti nel software Tosca Analysis. 

Trova e approccia qualunque ogni punto del tuo wafer in qualsiasi momento

Trova e approccia qualunque ogni punto del tuo wafer in qualsiasi momento

L'allineamento automatico integrato del wafer fornisce una navigazione completa tramite coordinate assolute. Questo permette di localizzare e anche di riposizionare punti specifici sul tuo wafer in qualsiasi momento, ottimizzando così i processi di produzione del wafer. Puoi anche caricare le coordinate esistenti da altri strumenti di analisi per eseguire un'analisi AFM con Tosca sulla stessa posizione. In questo modo puoi trovare i difetti sul tuo wafer in modo semplice e veloce. 

Specifiche tecniche

Dimensione del wafer100 mm (4"), 150 mm (6"), 200 mm (8")
Altezza massima del wafer2 mm

Anton Paar Certified Service

La qualità Anton Paar nel servizio e nell'assistenza:
  • oltre 350 esperti tecnici certificati direttamente dal produttore a livello globale
  • Assistenza qualificata nella tua lingua
  • Protezione del vostro investimento per l'intero ciclo di vita
  • 3 anni di garanzia
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