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Tosca 400 AFM 的配件:晶圓載台

  • 適用於 4 英吋,6 英吋和 8 英吋晶圓
  • 完全可尋址晶圓載台
  • 專為使用真空鑷子處理晶圓而設計
  • 多次全自動測量
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晶圓結構越來越小,整合元件的密度也持續增加。為了能夠使用原子力顯微鏡以非破壞性方式分析這些次奈米結構,需要對整個晶圓進行表面檢查。安東帕的晶圓載台是將原子力顯微鏡 Tosca 400 升級為全自動晶圓分析工具的完美配件。 

主要功能

無需切割即可測量最大 200 mm 的晶圓

無需切割即可測量最大 200 mm 的晶圓

對完整晶圓進行 AFM 分析時,Tosca 400 的晶圓載台具有最大的靈活性。您可以在這個樣本台上測量 100 mm、150 mm 和 200 mm 的晶圓。它們以晶圓真空吸盤固定。此外,可以在不到 3 分鐘內切換成標準樣本台,其可以自動測量多個晶圓碎片。

享受最直觀的批次測量

享受最直觀的批次測量

在分析整個晶圓時,來自 AFM 資料的代表性統計資料對於故障分析和製程最佳化至關重要。我們的批次測量功能可完全自動化這些任務。它提供直觀設定,可以新增、編輯、重新排序和重新定義現有批次處理表中的測量。可以建立和載入預定義的批次檔案以進行標準化測量。利用 Tosca Analysis 軟體中的預定義範本,甚至可以完全自動執行這些測量的分析。 

隨時查找並定位晶圓上的每個點

隨時查找並定位晶圓上的每個點

內建的晶圓自動對準功能可經由絕對座標提供完整的導航。如此一來,能隨時定位並重新定位晶圓上的特定點,進而最佳化晶圓生產流程。還可以從其他分析儀器下載現有座標,以使用 Tosca 在完全相同的位置上執行 AFM 分析。這樣您就可以輕鬆快速地在晶圓上發現缺陷。 

技術規格

晶圓尺寸100 mm(4")、150 mm(6")、200 mm(8")。
最大晶圓高度2 mm

安東帕認證服務

安東帕在服務和支援方面的品質:
  • 全球超過 350 位製造商認證的技術專家
  • 以當地語言提供的合格支援
  • 在儀器整個生命週期中保護您的投資
  • 三年保固
深入瞭解

適用的儀器

耗材

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Cantilever AP-Arrow-NCR-10

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零件編號: 173848