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Nano Scratch Testeur (NST³)

Le test de résistance à la rayure le plus précis sur le marché

Le Nano Scratch testeur est particulièrement adapté pour caractériser la perte d’adhérence des films et revêtements minces d'épaisseur inférieure à 1000 nm. Le Nano Scratch testeur peut être également utilisé pour l’analyse de revêtements organiques et inorganiques, mous ou durs. Exemples : PVD mono et multicouche, CVD, PECVD, photorésine, peintures, laques et nombreux autres types de films. Le NST³ couvre les applications optiques, microélectroniques, protectrices, décoratives et autres. Les substrats peuvent être durs ou mous, y compris les alliages métalliques, les semiconducteurs, le verre, ainsi que les matériaux organiques et de réfraction.

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Caractéristiques principales

Temps de réponse rapide sur les petites forces appliquées

Le Nano Scratch testeur avec capteur de force incorpore un cantilever double lames pour l'application de la charge et un actionneur piézoélectrique en vue d’une réponse rapide sur la charge appliquée. Ce concept corrige également le résultat des déviations provoquées par tout événement se produisant pendant la rayure (par exemple l'apparition de fissures et de défaillances, de défauts ou d'échantillons non plats).

Mesure de la profondeur de pénétration résiduelle pour l’étude de recouvrance élastique

Le capteur de déplacement (Dz) suit le profil de surface de l'échantillon avant, pendant et après une rayure. Cela vous permet d'évaluer la profondeur de pénétration de l’indenteur pendant et après la rayure: les propriétés élastiques, plastiques et viscoélastiques des matériaux peuvent donc être évaluées (Brevet: US 6,520,004)

Sans compromis: Appliquez exactement la force désirée dans la plage de force des microNewtons

La boucle d’asservissement électronique de la force normale permet des tests de nano-rayure encore plus précis en-dessous de 1 μN. Le Nano Scratch testeur inclut un capteur pour la mesure de force qui renvoie directement à l'actionneur de force normale. C’est la garantie que la force appliquée est réellement celle qui a été définie par l'utilisateur.

Imagerie optique de haute qualité grâce à « Follow Focus »

Notre microscope intégré se compose d'une tourelle avec des objectifs de haute qualité et d'une caméra vidéo USB. Lors de l'imagerie d'une rayure, l’aisance dans le passage d'un grossissement de x200 à x4000 permet une meilleure évaluation des échantillons que le grossissement soit faible ou élevé. La fonction « Follow Focus » permet la mise au point automatique à la bonne position grâce à la table Z pour plusieurs rayures.

Mode multi-post-scan pour mesurer le comportement visqueux suite à une rayure

Après une rayure, il est possible de définir plusieurs mesures post-scan dans le temps pour mesurer l’évolution de la profondeur résiduelle. Cette nouvelle analyse vous permettra de mieux comprendre les déformations supportées par votre échantillon et les temps de relaxation

Applications typiques

  • Polymères : couches minces et/ou caractérisation de surface (résistance à la rayure)
  • Revêtements d'oxydes sur des substrats polymères à couche mince
  • Propriétés mécaniques des films de diamant ultrananocristallin (UNCD)
  • Revêtements durs (PVD, CVD) : Plage d’épaisseur inférieure à 1 micron
  • Plaquettes : Plage d’épaisseur comprise entre 10 nm et 500 nm
  • Optique et verre : couches minces et/ou caractérisation de surface (résistance à la rayure)
  • Caractérisation physique des surfaces recouvertes

Spécifications techniques

Charge appliquée
Résolution 0,01 μN
Force max. 1000 mN
Niveau de bruit 0,1 [rms] [μN]*
Force de friction
Résolution 0,3 μN
Force de friction max. 1000 mN
Profondeur
Résolution 0,3 nm
Profondeur max. 600 μm
Niveau de bruit 1,5 [rms] [nm]*
Vitesse
Vitesse De 0,4 mm/min à 600 mm/min

*Valeur de niveau de bruit spécifiée dans des conditions de laboratoire idéales et à l'aide d'une table anti-vibration.

Service certifié Anton Paar

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