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Nano Scratch Tester (NST³)

Der genaueste Nano Scratch Tester auf dem Markt

Der Nano Scratch Tester wird besonders für die Untersuchung des praxisrelevanten Haftungsversagens dünner Filme und von Schichten mit weniger als 1000 nm Schichtdicke eingesetzt. Der Nano Scratch Tester ist sowohl für die Analyse organischer und anorganischer als auch weicher und harter Schichten geeignet. Beispiele sind PVD-, CVD- und PECVD-Mono- und Multilagenbeschichtungen, Fotolacke, Farben und Lacke und viele andere Oberflächenveredelungen. Der NST³ eignet sich für Anwendungen in den Bereichen Optik, Mikroelektronik, Verschleißschutz, Dekoration etc. Die Substrate können weich oder hart sein. Beispiele sind Metalllegierungen, Halbleiter, Glas, lichtbrechende und organische Materialien.

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Hauptmerkmale

Schnelle Reaktionszeit bei kleinen Kräften

Der Nano Scratch Tester mit Kraftsensor enthält einen Doppel-Kragarm zum Aufbringen der Last und einen piezoelektrischen Aktuator für eine kurze Ansprechzeit bei der angelegten Last. Dieses Konzept korrigiert auch Abweichungen durch Ereignisse, die während der Ritzprüfung auftreten (z. B. Risse und Fehler, Defekte oder unebene Proben).

Patentierte profilkorrigierte Messung der Eindringtiefe für Untersuchungen zur elastischen Erholung

Der Wegsensor Dz überwacht das Oberflächenprofil der Probe vor, während und nach der Ritzprüfung. Deshalb können Sie die Eindringtiefe des Prüfkörpers bei und nach der Ritzprüfung auswerten und die elastischen, plastischen und viskoelastischen Eigenschaften von Materialien beurteilen (Patent: US 6,520,004)

Keine Kompromisse: Es wird exakt die gewünschte Kraft im Mikronewton-Bereich angewendet

Die elektronische Lastrückkopplung ermöglicht noch genauere Nano-Ritzprüfungen unter 1 μN. Der Nano Scratch Tester enthält einen Kraftsensor mit direkter Rückkopplung zum Normalkraft-Aktuator. Damit wird sichergestellt, dass die aufgewendete Kraft mit der vom Anwender eingestellten Kraft übereinstimmt.

Hochwertige optische Bildgebung mit „Folgefokus“

Unser integriertes Mikroskop besteht aus einem Revolver mit hochwertigen Objektiven und einer USB-Videokamera. Bei der Darstellung einer Ritzprüfung erlaubt der unkomplizierte Wechsel von 200-facher auf 4000-fache Vergrößerung eine bessere Beurteilung der Proben. Die „Folgefokus“-Funktion richtet den Fokus automatisch auf die richtige Position des Z-Tisches bei mehreren Ritzspuren.

Multi-Post-Scanmodus zur Messung des viskosen Verhaltens nach einer Ritzprüfung

Nach der Ritzprüfung können Sie in der Software unbegrenzt Post-Scan-Messungen mit beliebigem zeitlichem Abstand definieren, um die verbleibende Tiefe zu messen. Mit dieser neuen Analyse gewinnen Sie zusätzliche Informationen über das Deformationsverhalten der Probe während der Erholzeit.

Typische Anwendungen

  • Polymere: Dünnschicht- und/oder Oberflächencharakterisierung (Abriebfestigkeit)
  • Oxidschichten auf Dünnfilm-Polymersubstraten
  • Mechanische Eigenschaften ultrananokristalliner Diamantschichten (UNCD)
  • Hartstoffbeschichtungen (PVD-, CVD-Beschichtungen): Dickebereich weniger als 1 Mikrometer
  • Wafer: Dickebereich von 10 nm bis 500 nm
  • Optik und Glas: Dünnschicht- und/oder Oberflächencharakterisierung (Kratzfestigkeit)
  • Physikalische Charakterisierung beschichteter Oberflächen

Technische Spezifikationen

Prüflast
Auflösung 0,01 μN
Maximale Last 1000 mN
Grundrauschen 0,1 [eff] [μN]*
Reibkraft
Auflösung 0,3 μN
Maximale Reibkraft 1000 mN
Tiefe
Auflösung 0,3 nm
Maximale Tiefe 600 μm
Grundrauschen 1,5 [eff] [nm]*
Geschwindigkeit
Geschwindigkeit Von 0,4 mm/min bis 600 mm/min

*Die Grundrauschwerte wurden unter idealen Laborbedingungen und unter Verwendung eines Antivibrationstischs ermittelt.

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