GIXRD 的技術挑戰:精確度與資料複雜性

低掠角 X 射線繞射 (GIXRD) 提出了獨特的技術挑戰,必須仔細操作才能獲得準確可靠的數據。從特定的光束幾何形狀到精確的樣品定位和先進的數據解釋,每個方面都在確保實驗成功方面發揮著至關重要的作用。以下是 GIXRD 中的一些常見挑戰以及旨在克服這些挑戰的解決方案。
管理精確對準
GIXRD 的淺入射角需要樣本的精確對準,因為即使是微小的偏移也會改變結果。具有自動對準功能的先進儀器可透過確保每次測量的光束和樣品定位一致、準確來解決這個問題。
具有明確的入射角
GIXRD 數據對表面高度敏感;因此,明確的入射角至關重要。這可以透過使用合適的透鏡來實現,該透鏡產生低發散的平行光束。現代儀器可以自動調整某些參數以產生平行光束。
控制穿透深度
調整 GIXRD 的穿透深度是關鍵,特別是超薄膜。具有可靠、可再現和精確的入射角設定的儀器可以進行微調,讓使用者能夠瞄準特定的層,從而為各種薄膜應用提供靈活性。
先進資料解析
由於表面和本體之間的相互作用,解釋 GIXRD 數據可能會很複雜,這可能會導致晶體結構發生微妙的變化。因此,需要具有最高解析度的高精度、可再現的探測器運動。
選擇合適的支架和載台
塗層等薄膜可以應用於各種形狀和尺寸的樣品。因此,需要各種樣品架和載台。