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고분해능 위치 결정 모듈:
피에조 스테이지

모델:
  • 탁월한 재현 위치 결정 정확도
  • 넓은 영역에 걸친 고정밀 인덴테이션
  • 원활한 통합 및 손쉬운 플랫폼 업그레이드

피에조 스테이지는 정확성이 가장 중요한 경우 넓은 영역에 걸친 단상 및 복합 재료의 고분해능 인덴테이션 맵핑을 제공합니다. 개별 상의 특성을 평가하든, 표면의 균일성을 평가하든, 열기계적 효과를 연구하든, 일관적으로 정확한 결과를 보장합니다. 업계 최고 수준의 나노인덴테이션 성능을 위해 Anton Paar의 UNHT³ 헤드와 연동시킬 수도 있습니다.

주요 특징

탁월한 재현 위치 결정 정확도를 위한 피에조 스테이지

10 nm에 달하는 재현 위치 결정의 정확도를 통해 독보적인 위치 제어를 달성하여, 각각의 인덴테이션 측정이 정확히 의도된 위치에서 수행되도록 보장합니다.

넓은 영역에 걸친 고정밀 인덴테이션

피에조 스테이지는 100 μm × 100 μm의 광범위한 측정 영역을 제공하여 넓은 면적에서의 정밀한 인덴테이션 맵핑을 효율적으로 수행할 수 있게 합니다. 확장된 기능을 통해 넓은 표면적에 걸쳐 정밀한 기계적 특성화와 일관된 결과를 제공합니다.

원활한 통합 및 손쉬운 플랫폼 업그레이드

피에조 스테이지는 새로운 플랫폼 구매 시 옵션으로 또는 기존 기기에 대한 업그레이드로 쉽게 통합될 수 있습니다. 이렇게 유연한 접근 방식을 통해 최소한의 가동 중지 시간과 즉각적인 성능 이점을 보장하며, 측정 기능을 간편하게 개선시킬 수 있습니다.

사양

사양
이동 범위 X100 μm
이동 범위 Y100 μm
분해능 XY0.2 nm
위치 결정 정확도 XY10 nm
피에조 스테이지 크기100 x 100 x 20 mm

Anton Paar 공인 서비스

Anton Paar 서비스 및 지원 품질 :
  • 전 세계 350명 이상의 제조업체 인증 기술 전문가
  • 현지 언어로 이루어지는 검증된 지원
  • 수명 주기 동안 투자 보호
  • 3년 보증
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