AXO DRESDEN에서 개발 및 제작한 다층 기반 X선 광학계 포트폴리오는 X선을 단색화, 집속, 콜리메이션하도록 설계되어 있으며, XRD, XRF, SAXS, 이미징, 다양한 싱크로트론 실험을 포함한 각 응용 분야에 최적화된 빔을 형성합니다.
당사는 다양한 응용 분야에 맞춘 고급 X선 광학계의 폭넓은 포트폴리오를 제공합니다. 평행 빔 광학계(PBO 및 Göbel 미러)는 일반적으로 0.5 mm ~ 2.5 mm의 빔 크기를 갖는 고도로 콜리메이션된 빔을 제공하여, X선 회절(XRD)에 필요한 낮은 빔 발산도를 구현했습니다. 집중된 강도가 요구되는 응용 분야를 위해, 집속형 X선 광학계는 발산 빔 또는 평행 빔을 얇은 초점 라인이나 스폿(일반적으로 30 µm ~ 500 µm)으로 변환하며, 이는 XRF, XRD, 이미징과 같은 기법에 이상적입니다.
2차원 콜리메이션 광학계(ASTIX-c)는 발산 방사를 변환하여, 변의 길이가 0.5 mm ~ 2.5 mm인 정사각형 형태의 저발산 평행 빔을 형성합니다. 이는 2차원 집속 광학계(ASTIX-f)로 보완되며, 시료 크기에 따라 수백 마이크로미터 직경에서 약 30 µm FWHM까지의 초점 스폿으로 고강도 빔을 형성합니다.
다목적 X선 광학 시스템은 다층 광학계를 단독으로 또는 다른 X선 광학계와 결합하여 사용함으로써, 단색 특성을 유지하면서도 콜리메이션, 집속, 압축, 또는 확장된 형태의 1차원 및 2차원 빔을 생성합니다. 그 예로, 트윈 미러 배열은 매우 넓은 동적 범위에서 정밀한 X선 반사율 측정을 가능하게 합니다. 추가적인 응용 분야로는 X선 회절, 단층 촬영, 싱크로트론 실험이 포함됩니다.
다양한 광자 에너지 범위에 대응하도록 설계된 당사의 X선 광학계는 크로뮴(Cr), 코발트(Co), 구리(Cu), 갈륨(Ga), 몰리브덴(Mo), 로듐(Rh), 은(Ag), 인듐(In), 텅스텐(W) 등 가장 일반적으로 사용되는 양극 소재에 적용 가능합니다. 이를 통해 표준 회절용 Cu Kα부터 응력 분석용 Cr 및 Co, 고밀도 시료 및 고해상도 데이터를 위한 Mo, Ag, In에 이르기까지 다양한 응용 분야에서 최적의 성능을 제공합니다. 각각의 다층 광학계는 최대의 플럭스, 분광 순도, 빔 품질을 보장하기 위해 해당 방출선에 맞춰 설계됩니다.
다층 미러는 특정 초점 거리, 작은 빔 크기, 또는 낮은 발산도를 갖도록 맞춤 설계할 수 있습니다. 외부의 기하학적 파라미터가 설정된 이후에도, 다층 코팅을 조정함으로써 미러의 분광 성능을 추가로 최적화할 수 있습니다. 최적화는 일반적으로 빔 플럭스, 스펙트럼 분해능, 또는 광대역 반사를 목표로 하며, 이는 요구되는 광자 강도, 에너지 선택성, 또는 넓은 에너지 범위(싱크로트론, 플라스마, 또는 레이저 구성과 같은 경우)에 따라 달라집니다.
작거나 큰 에너지 대역폭을 선택하는 싱크로트론 빔라인에는 단색화 광학 장치가 필요합니다. 다층 코팅은 다양한 구성으로 적용될 수 있으며, EUV에서 약 100 keV에 이르는 경질 X선 범위까지 고분해능 또는 고플럭스 빔을 제공합니다. 평탄하며 그레이딩된 다층 구조는 발산 빔을 수용하거나 분석기 설정에 사용할 수 있습니다. 추가적인 응용 분야로는 광대역 또는 밴드패스 설계와 브루스터 각도 부근에서 작동하는 편광 미러가 포함됩니다.
| 일반적으로 제공 가능한 스펙트럼 범위(싱크로트론) | 50 eV에서 >100 keV |
| 일반적인 양극 소재(X선관) | Cr, Co, Cu, Ga, Mo, Rh, Ag, In, W(기타 소재는 요청 시 제공) |
| 일반적인 초점 거리 | 100 mm ~ 2,500 mm(설정 및 요구 빔 크기에 따라 다름) |
| 광학계 크기 | 실험실용 광학계는 일반적으로 40 mm ~ 150 mm, 싱크로트론용 광학계는 최대 500 mm |
| 분해능 | 0.25 % < ΔE/E < 3 %(주기적 다층 구조) 요청 시 ΔE/E > 5 %(비주기적 다층 구조) |
| 두께 균일성 | Δd/d < 0.2 % |
