Ultra Nanoindenteur à haute température (UNHT³ HTV)

L’ UNHT³ HTV est un système de nanoindentation à haute température et à faible force conçu pour mesurer la dureté et le module d'élasticité des films minces jusqu'à 800 °C. La technologie UNHT brevetée combinée à un dispositif de chauffage unique fournit une solution d’une grande stabilité à toutes les températures.

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Caractéristiques principales

La nouvelle génération de nanoindenteur à haute température

  • La dérive thermique la plus faible aux conditions ambiantes (< 0,5 nm/min) et sur toute la plage de température (< 3 nm/min).
  • La rigidité du bâti la plus élevée (>>106 N/m) et la compliance la plus faible (<<0,1 nm/mN) : Deux capteurs de force et de profondeur indépendants combinés avec les capteurs capacitifs haute résolution pour les modes « True Depth » et « Load Control ».
  • Installation sous vide secondaire avec turbopompe en lévitation magnétique et système tampon qui permet de mettre hors tension la pompe principale pendant la mesure afin de minimiser les vibrations d.
  • Gestion du chauffage unique (3 brevets déposés) qui inclut 3 appareils de chauffage à infrarouge (IR) pour l’indenteur, la référence et l’échantillon et 4 thermocouples pour contrôler la température de surface de l’échantillon à 0,1°C.
  • Conforme aux normes ISO 14577 et ASTM E2546

Spécifications techniques

Force
Force max. 100 mN
Résolution en force   6 nN
Niveau de bruit   0,5 [rms] [μN]*
Profondeur
Profondeur max.100 μm
Résolution en profondeur 0,003 nm
Niveau de bruit 0,15 [rms] [nm]*
 
Vide limite 10 mBar
Température maximale 800 °C

*Valeur de niveau de bruit spécifiée dans des conditions de laboratoire idéales et à l'aide d'une table anti-vibration.

Service Certifié Anton Paar

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