高分辨率定位模块:
压电样品台
- 出色的重新定位准确度
- 在较大区域上进行高精度压痕
- 可无缝集成,轻松升级平台
当准确度至关重要时,压电样品台可在较大区域上对单相材料和复合材料进行高分辨率压痕成像。无论是评估单相特性、评价表面均匀性还是研究热机械效应,它都能确保始终如一的准确结果。将其与安东帕的 UNHT³ 针尖相结合,可实现行业领先的纳米压痕性能。
关键功能
压电样品台可实现出色的重新定位准确度
重新定位准确度可达10nm,可实现无与伦比的位置控制,确保每次压痕测量都准确地在预定位置进行。

在较大区域上进行高精度压痕
压电样品台提供 100 μm × 100 μm 的宽广测量区域,使您能够高效地进行详细的较大区域压痕成像。这种扩展功能可在较大的表面区域上提供精确的机械表征和一致的结果。

可无缝集成,轻松对平台升级
压电样品台可以轻松进行集成,作为购买新平台时的选件,或者用于升级现有仪器。这种灵活的方法使您能够毫不费力地提高测量能力,确保最大程度减少停机时间并立即获得性能优势。

规格
规格 | 数值 |
X 行程范围 | 100 μm |
Y 行程范围 | 100 μm |
XY 分辨率 | 0.2 nm |
XY 定位精度 | 10 nm |
压电样品台尺寸 | 100 mm x 100 mm x 20 mm |