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Hochtemperatur-Ultra-Nanohärtemessgerät (UNHT³ HTV)

Das UNHT³ HTV Hochtemperatur-Nanohärtemessgerät ist ein für die Messung der Härte und des Elastizitätsmoduls dünner Folien und Schichten bis zu 800 °C konzipiertes nanomechanisches Niedriglast-Prüfsystem. Die patentierte UNHT-Technologie in Kombination mit einer einzigartigen Heizung bietet hohe Stabilität bei jeder Temperatur.

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Hauptmerkmale

Die neue Generation der Hochtemperatur-Nanohärtemessgeräte

  • Die niedrigste thermische Drift unter Umgebungsbedingungen (< 0,5 nm/min) und im gesamten Temperaturbereich (< 3 nm/min).
  • Die höchste Lastrahmensteifigkeit (>>106 N/m) und die niedrigste Rahmennachgiebigkeit (<<0,1 nm/mN): Zwei unabhängige Tiefen- und Lastsensoren, kombiniert mit ultrahochauflösenden kapazitiven Sensoren für die Modi „Echttiefe“ und „Lastkontrolle“.
  • Hochvakuumsystem mit 5-achsig magnetgelagerter Turbopumpe und Reservesystem. Dies ermöglicht das Abschalten der Primärpumpe während der Messung, um die Pumpenvibration zu minimieren.
  • Einzigartige Heizungssteuerung (3 Patente angemeldet) mit 3 Infrarotstrahlern (IR) für Indenter, Referenz und Probe sowie 4 Thermoelementen zur Regelung der Oberflächentemperatur der Probe innerhalb von 0,1°C.
  • Konform mit DIN EN ISO 14577 und ASTM E2546

Technische Spezifikationen

Kraft
Maximale Last 100 mN
Lastauflösung   6 nN
Grundrauschen   0,5 [eff] [μN]*
Tiefe
Maximale Tiefe100 μm
Tiefenauflösung 0,003 nm
Grundrauschen 0,15 [eff] [nm]*
 
Endvakuum 10 mBar
Maximale Temperatur 800 °C

*Die Grundrauschwerte wurden unter idealen Laborbedingungen und unter Verwendung eines Antivibrationstischs ermittelt.

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