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Zubehör für Tosca 400 AFM:
Wafer-Probentisch

Vollautomatische AFM-Messungen von Wafern bis 200 mm

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Waferstrukturen werden kleiner und die Dichte der integrierten Komponenten wächst kontinuierlich. Um diese Subnanometer-Strukturen unter Verwendung der Rasterkraftmikroskopie zerstörungsfrei analysieren zu können, ist eine Oberflächeninspektion des kompletten Wafers erfoderlich. Mit dem Wafer-Probentisch von Anton Paar machen Sie Ihr Rasterkraftmikroskop Tosca 400 zu einem vollautomatischen Wafer-Analyse-Tool.  

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Technische Highlights

Messen Sie Wafer bis zu 200 mm, ohne sie zu schneiden

Messen Sie Wafer bis zu 200 mm, ohne sie zu schneiden

Der Wafer-Probentisch für Tosca 400 bietet höchste Flexibilität, wenn es um AFM-Analysen von vollen Wafern geht. Sie können auf diesem Probentisch Wafer in den Größen 100 mm, 150 mm und 200 mm messen. Diese werden mit einer Wafer-Vakuum-Spannvorrichtung fixiert. Messen Sie auch mehrere Waferfragmente automatisch, indem Sie in weniger als 3 Minuten zum Standardprobentisch wechseln.

Genießen Sie die Vorteile intuitiver Batch-Messungen

Genießen Sie die Vorteile intuitiver Batch-Messungen

Repräsentative Statistiken aus AFM-Datenanalysen von ganzen Wafern sind unerlässlich für die Fehleranalyse und Prozessoptimierung. Unsere Batch-Messfunktion automatisiert diese Aufgaben vollständig. Sie bietet ein intuitives Setup zum Hinzufügen, Bearbeiten, Neuordnen und Neudefinieren vorhandener Messungen in der Batch-Tabelle. Für standardisierte Messungen können vordefinierte Batch-Dateien erstellt und geladen werden. Selbst die Analyse dieser Messungen kann mit Hilfe von vordefinierten Vorlagen in der Tosca-Analyse-Software vollautomatisch durchgeführt werden. 

Finden und adressieren Sie jeden Punkt auf Ihrem Wafer zu jeder Zeit

Finden und adressieren Sie jeden Punkt auf Ihrem Wafer zu jeder Zeit

Die integrierte automatische Ausrichtung des Wafers ermöglicht eine vollständige Navigation über absolute Koordinaten. Damit ist es jederzeit möglich, bestimmte Stellen auf Ihrem Wafer zu lokalisieren und auch zu verlagern und damit die Wafer-Produktionsprozesse zu optimieren. Laden Sie auch vorhandene Koordinaten von anderen Analyseinstrumenten, um eine AFM-Analyse mit Tosca an genau der gleichen Position durchzuführen. Auf diese Weise können Sie Defekte auf Ihrem Wafer schnell und einfach finden. 

Technische Daten

Wafergröße100 mm (4”), 150 mm (6”), 200 mm (8”)
Max. Waferhöhe2 mm

Anton Paar Certified Service

Service- und Supportqualität von Anton Paar:
  • Mehr als 350 herstellerzertifizierte technische Experten weltweit
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