Phân tích vi mô tia X tại góc gặm (GIXRD) đặt ra những thách thức kỹ thuật độc đáo cần được quản lý cẩn thận để thu thập dữ liệu chính xác và đáng tin cậy. Từ hình học chùm cụ thể đến định vị mẫu chính xác và giải thích dữ liệu tiên tiến, mỗi khía cạnh đều đóng vai trò quan trọng trong việc đảm bảo các thí nghiệm thành công. Dưới đây là một số thách thức phổ biến trong GIXRD và các giải pháp được thiết kế để khắc phục chúng.

Quản lý sự căn chỉnh chính xác

Góc tới nông của GIXRD yêu cầu định vị chính xác mẫu, vì ngay cả những sai lệch nhỏ cũng có thể thay đổi kết quả. Các dụng cụ tiên tiến với tính năng canh chỉnh tự động giải quyết vấn đề này bằng cách đảm bảo bố trí chùm tia và mẫu chính xác, nhất quán cho mọi lần đo.

Có góc tới được xác định rõ ràng

Dữ liệu từ GIXRD rất nhạy cảm với bề mặt; do đó, một góc tới rõ ràng là rất quan trọng. Điều này có thể đạt được bằng cách sử dụng một chiếc gương phù hợp tạo ra một chùm ánh sáng song song với độ phân kỳ thấp. Các thiết bị hiện đại có thể tự động điều chỉnh một số tham số để tạo ra một chùm tia song song.

Kiểm soát độ sâu thâm nhập

Điều chỉnh độ sâu thâm nhập trong GIXRD là quan trọng, đặc biệt đối với các lớp siêu mỏng. Các dụng cụ với việc thiết lập góc tới chính xác, đáng tin cậy và có thể tái tạo cho phép điều chỉnh tinh vi, giúp người dùng nhắm vào các lớp cụ thể, cung cấp sự linh hoạt trong một loạt các ứng dụng phim mỏng.

Phần mềm phân tích dữ liệu nâng cao PCG

Việc giải thích dữ liệu GIXRD có thể phức tạp do sự tương tác giữa bề mặt và khối lượng, điều này có thể gây ra những thay đổi tinh vi trong cấu trúc tinh thể. Do đó, cần thiết phải có các chuyển động của máy dò chính xác cao và có khả năng tái lập với độ phân giải cao nhất.

Chọn một giá đỡ và giai đoạn phù hợp

Các lớp mỏng như lớp phủ có thể được áp dụng lên các mẫu có hình dạng và kích thước khác nhau. Do đó, cần có nhiều loại giá đỡ mẫu và giai đoạn khác nhau.