高溫超奈米壓痕 (UNHT³ HTV)

UNHT³HTV 高溫奈米壓痕測試儀是一種低負荷奈米機械測試系統,用於測量高達 800°C 的薄膜和塗層的硬度和彈性係數。獲得專利的 UNHT 技術與獨特的加熱相結合,可在任何溫度下提供高穩定性解決方案

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主要功能

新一代的高溫奈米壓痕測試儀

  • 環境條件下最低熱漂移 (< 0.5 nm/min) 和整個溫度範圍內最低熱漂移 (< 3 nm/min)。
  • 最高載荷框架剛度 (>>106 N/m) 和最低框架柔度 (<<0.1 nm/mN):兩套獨立的位移和載荷傳感器與高精度電容傳感器結合,可選擇「實際深度」和「載荷控制」模式。
  • 高真空系統具有 5 軸磁懸浮渦輪泵和緩衝系統,允許在測量期間關閉初級泵,使泵振動降至最低。
  • 獨特的加熱控制系統 (3 項專利送審中),採用 3 個紅外線 (IR) 加熱器分別用於給壓頭、參考壓頭及樣本加熱,以及 4 個熱電偶用於將樣本表面溫度控制到 0.1°C 內的變化。
  • 符合 ISO 14577 和 ASTM E2546 國際標準

技術規格

壓入載荷
最大負載 100 mN
載荷分辨率   6 nN
雜訊背景   0.5 [rms] [μN]*
壓入位移
最大壓入位移100 μm
位移分辨率 0.003 nm
雜訊背景 0.15 [rms] [nm]*
 
極限真空度 10 mBar
最高溫度 800 °C

*在理想的實驗室條件下使用防振台所指定的雜訊背景值。

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