권장 결과

나노 스크래치 테스터(NST³)

시중에서 가장 정확한 나노 스크래치 테스터

나노 스크래치 테스터는 일반 두께가 1000nm 이하인 박막 및 코팅재의 밀착력 및 손상(스크래치) 저항을 정량 분석하는 데 특히 적합합니다. 나노 스크래치 테스터는 유기 및 무기 분석과 연성 및 강성 코팅재에 사용할 수 있습니다. 예를 들면 얇은 다층 PVD, CVD, PECVD, 포토레지스트, 페인트, 락커 및 기타 필름 종류가 있습니다. NST³는 광학, 마이크로 전자, 보호재, 장식 및 기타 응용 분야에 사용됩니다. 금속 합금, 반도체, 유리, 굴절 물질 및 유기 물질을 포함한 기질은 강성 또는 연성일 수 있습니다.

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주요 특징

작은 적용 하중에서 신속한 응답 제공

하중 센서를 포함하는 나노 스크래치 테스터에는 하중의 적용을 위한 이중 캔틸레버 빔과 piezo 액츄에이터가 통합되어 있어 하중 적용 시 신속한 응답을 제공합니다. 또한 스크래치 동안 발생하는 상황 인한 편차에 대한 결과를 보정합니다(예를 들어, 균열 및 오류, 결함 또는 평평하지 않은 시료가 나타나는 경우).

탄성 복원 연구를 위한 실제 압입 깊이 측정 특허 기술

변위 센서(Dz)는 스크래치 전후와 도중의 시료 표면 프로파일을 모니터링합니다. 이를 통해 스크래치 도중과 후에 인덴터의 압입 깊이를 평가할 수 있고 소재의 탄성, 가소성 및 점탄성 특성을 평가할 수 있습니다(특허: US 6520004).

뛰어난 정확성: microNewtons 하중 범위에서 적용하려는 하중을 정확하게 적용

밀폐형 액티브 포스 피드백 루프는 1μN 미만의 훨씬 더 정확한 나노 스크래치 테스트를 위한 기능입니다. 나노 스크래치 테스터에는 수직항력 액추에이터로 직접 다시 공급되는 하중 측정을 위한 센서가 통합되어 있습니다. 따라서 적용되는 하중이 실제로 사용자가 설정한 하중과 같습니다.

‘초점 준수’를 통한 고품질 광학 이미징

Anton Parr의 내장 현미경은 고품질 대물 렌즈가 포함된 터렛과 USB 비디오 카메라로 구성되어 있습니다. 스크래치를 이미징하는 경우 x200에서 x4000으로 배율을 쉽게 변경하여 낮은 배율과 높은 배율의 시료를 보다 효율적으로 평가할 수 있습니다. ‘초점 준수’ 기능을 사용하여 여러 스크래치에 대해 Z-테이블을 사용하여 올바른 위치로 자동 초점을 맞출 수 있습니다.

스크래치 후 점성 거동을 측정하는 다중 Post-scan 모드

스크래치 후 제 시간에 델타를 사용하여 소프트웨어에서 무제한 post-scan 측정을 정의하여 나머지 깊이를 측정할 수 있습니다. 이 새로운 분석을 통해 복구 시간 대비 표면의 변형 작용을 추가로 이해할 수 있습니다.

일반 응용 분야

  • 폴리머: 박막 및/또는 표면 특성(내손상성)
  • 박막 폴리머 기질의 산화 코팅
  • UNCD(Ultrananocrystalline Diamond) 박막의 기계적 특성
  • 하드 코팅(PVD, CVD 코팅): 1마이크론 미만의 두께 범위
  • 웨이퍼: 10nm~500nm의 두께 범위
  • 광학 및 유리: 박막 및/또는 표면 특성(스크래치 저항)
  • 코팅 표면의 물리적 특성화

기술 사양

적용 하중
분해능 0.01μN
최대 하중 1000mN
노이즈 플로어 0.1[rms] [μN]*
마찰력
분해능 0.3μN
최대 마찰력 1000mN
깊이
분해능 0.3nm
최대 압입 깊이 600μm
노이즈 플로어 1.5[rms] [nm]*
속도
속도 0.4mm/min ~ 600mm/min

*이상적인 실험실 조건에서 진동 방지 테이블을 사용하여 지정된 노이즈 플로어 값입니다.

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