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半導体及び再生可能エネルギー分野の用途向け機能性コーティング及び薄膜の表面特性

半導体及び再生可能エネルギー分野など、様々なシステムの表面分析で使用されている多様な技術について知りたいと思いますか?

無料Webinarを視聴しましょう。様々な分析手法や特定の用途の理論的な側面の詳細を学びましょう。Webinarでは、原子間力顕微鏡及びナノスクラッチ試験機から斜入射X線散乱(GISAXS)に至る、表面及び界面の分析に適した装置の選択も扱います。 

主なトピック:

  • 原子間力顕微鏡を使用したチップ製造用の薄層の表面トポグラフィー
  • 斜入射X線散乱(GISAXS)による構造特性の分析
  • 光起電性セル及び半導体のナノスクラッチ試験
  • 様々な最上層(酸化珪素、窒化珪素、銅、タングステン)を持つ半導体ウェハーの特性評価

 

 

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