推奨される結果

ナノスクラッチテスタ(NST³)

市販装置として最も高精度なスクラッチ試験機

ナノスクラッチテスタは、特に標準膜厚1000 nm以下の薄膜やコーティングの実際的な密着性評価に最適です。ナノスクラッチテスタは、有機系及び無機系のコーティングや、軟質及び硬質のコーティングの分析に使用できます。様々な用途向けの、薄膜・多層膜のPVD・CVD・PECVD膜、フォトレジスト、塗装、ラッカーなどの膜の評価に利用できます。NST³は、光学、マイクロエレクトロニクス、保護、装飾などの用途に使用できます。金属合金、半導体、ガラス、反射材や有機材料を含む硬質あるいは軟質の基材も評価できます。

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特長

小さい荷重で迅速な応答時間

フォースセンサを搭載したナノスクラッチテスタには、荷重を付加するためのダブルカンチレバービームや、付加された荷重で迅速に応答するためのピエゾアクチュエーターが組み込まれています。また、スクラッチ時に発生する事象に起因する偏差の結果を補正します(例: 亀裂、障害、欠陥、平坦ではないサンプルなど)。

弾性回復率試験のための特許取得済みの真の研磨痕深さ測定

変位センサ(Dz)が、スクラッチ前/スクラッチ中/スクラッチ後のサンプルの表面形状をモニタリングします。これにより、スクラッチ中及びスクラッチ後の圧子の研磨痕の深さを測定できるため、素材の弾性、プラスチック、粘弾性特性を評価できます(特許: US 6,520,004)

妥協なき性能: マイクロニュートンの荷重範囲でも、自由に荷重を付加

閉荷重フィードバックループは、1 µN未満のナノスクラッチ試験でより精度の高い結果を得るための機能です。ナノスクラッチテスタには、垂直荷重アクチュエータに直接フィードバックするセンサが組み込まれています。これにより、ユーザーが設定した荷重を実際に付加することができます。

「フォローフォーカス(Follow Focus)」による高品質な光学画像処理

内蔵の顕微鏡は、高品質な対物レンズを搭載したタレットとUSBビデオカメラで構成されます。スクラッチの画像処理を行う際も倍率を200倍から4000倍に簡単に変更できるため、低倍率でも高倍率でもサンプルを効率的に測定できます。「フォローフォーカス(Follow Focus)」機能を使用することで、複数スクラッチ用のZ軸テーブルで適切な位置に自動フォーカスします。

マルチポストスキャンモードは、スクラッチ後の粘度挙動を測定

スクラッチ後、ソフトウェアでポストスキャン測定を無制限に定義できます。時間の変化により、残存深さを測定できます。このような新しい分析を行うことで、表面の変形挙動と回復時間の理解をさらに深められるようになります。

技術仕様

付加荷重
分解能 0.01 μN
最大荷重 1000 mN
摩擦力
分解能 0.3 μN
最大摩擦力 1000 mN
深さ
分解能 0.3 nm
最大深さ 600 μm
速度
速度 0.4~600 mm/min

アプリケーション

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