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高温ウルトラナノインデンテーション(UNHT³ HTV)

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高温ナノインデンテーションテスタ(UNHT³ HTV )は低荷重のナノスケールの機械特性試験システムで、最高800 °Cで薄膜やコーティングの硬さ及び弾性率を測定できます。特許技術UNHTを独自の加熱機能と組み合わせ、あらゆる温度で安定性に優れたソリューションを提供します。

主な機能

新世代の高温ナノインデンテーションテスタ

  • 最小の熱ドリフト(室温で0.5 nm/min未満、全温度範囲で3 nm/min未満)。
  • 最高のフレーム剛性(>>106 N/m)と最小の弾性コンプライアンス(<<0.1 nm/mN)。独立した押し込み深さセンサーと荷重センサーを超高分解能静電容量センサーと組み合わせることにより、「真の押し込み深さ制御」と「荷重制御」モードが可能。
  • 5軸の磁気浮上ターボポンプとバッファシステムを搭載した高度な真空システムにより、測定中に主ポンプをオフしてポンプによる振動を最小限に。
  • 圧子、リファレンス、及びサンプル用の3つのIRヒーターとサンプルの表面温度を0.1°C以内にコントロールする4つの熱電対を搭載した独自の加熱管理(特許3件出願中)。
  • ISO 14577及びASTM E2546に準拠

技術仕様

荷重
最大荷重 100 mN
荷重分解能   6 nN
ノイズフロア   0.5 [rms] [μN]*
深さ
最大深さ100 μm
深さ分解能 0.003 nm
ノイズフロア 0.15 [rms] [nm]*
 
到達真空度 10 mBar
最高温度 800 °C

*ノイズフロアの値は、理想的な実験室条件において除振台を使用することを想定したものです。

Anton Paar認証サービス

アントンパール社のサービス/サポート品質:
  • 世界中で350人を超えるメーカー認定専門技術者
  • お客様の地域の言語による確かなサポート
  • 稼動期間全体にわたりお客様の投資を保護
  • 3年保証
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