Microscopes à force atomique :
Tosca
- Top-level AFM for entry-level budgets
- Le plus grand porte-échantillons du segment de prix (50 mm entièrement adressables)
- Temps de mesure le plus rapide sur le marché (seulement 3 min)
- Taille de balayage de 15 µm dans la direction Z et 90 µm x 90 µm dans les directions X et Y.
- Échange de cantilever en moins de 10 secondes
- Tous les modes sont possibles sur le même spot d’échantillon sans avoir à changer de tête
- Le plus grand porte-échantillons du segment de prix (jusqu’à 200 mm pour les wafers)
- Le niveau d’automatisation matérielle et logicielle le plus élevé pour votre AFM
- Temps de mesure le plus rapide sur le marché (seulement 3 min)
- Échange de cantilever en moins de 10 secondes
- Tous les modes sont possibles sur le même spot d’échantillon sans avoir à changer de tête
sur demande
Top-level AFM for entry-level budgets: avec la configuration de mesure la plus rapide et le plus grand porte-échantillons, la série Tosca suit le rythme de votre analyse de surfaces à l’échelle nanométrique par microscope à force atomique.
Le Tosca est le premier choix pour les chercheurs, les pionniers, les penseurs et les fabricants de la nanotechnologie dans le domaine de la science des matériaux.
L’époque où la commutation de mode impliquait le changement de têtes est désormais passée : Le Tosca permet d’effectuer des mesures sur le même spot en utilisant tous les modes disponibles combinés dans une seule tête.
Avantages
Des fonctions intelligentes brevetées couvrant toutes les étapes de la procédure de mesure par microscope à force atomique créent un workflow AFM unique et hautement rationalisé, permettant d’obtenir des résultats 10 fois plus vite qu’avec des systèmes AFM conventionnels.
Au lieu de passer des jours à apprendre comment se servir du microscope à force atomique, vous pourrez commencer vos mesures au bout d’une heure. Un chargement de cantilever rapide et sûr en quelques secondes, un alignement laser automatique, la navigation des échantillons la plus intuitive et la procédure d'engagement la plus sûre du marché vous mènent à votre objectif : plus de temps pour vous concentrer sur les résultats de vos recherches.
- La formation ne dure qu’une heure
- 12 x plus rapide que les microscopes à force atomique conventionnels
Défi
Je veux commencer sans attendre. Combien de temps me faudra-t-il pour apprendre à me servir du Tosca ?
Solution
Le Tosca est si facile à utiliser que la formation pour apprendre l’usage des modes standards ne prend qu’une heure.
Vos avantages et votre temps
Avec le Tosca, vous pouvez commencer vos mesures après une heure de formation et non 1,5 jour dans le cas des AFM conventionnels.
- Pas de préparation d'échantillons requise
- Mesurez immédiatement de grands échantillons
- Porte-échantillons : 100 mm de diamètre, 25 mm de hauteur (jusqu’à 200 mm de diamètre pour les wafers)
Défi
Couper et trancher des échantillons peut les endommager et les contaminer. Comment éviter cela ?
Solution
Oubliez la préparation d’échantillon et le risque associé de contamination ou de résultats faussés. Avec le Tosca, vous pouvez mesurer sans attendre de grands échantillons (jusqu’à 25 mm de hauteur et 100 mm de diamètre).
Vos avantages et votre temps
Avec Tosca, vous obtenez des résultats précis et vous pouvez vous passer de l’étape fastidieuse de préparation. Gain de temps : jusqu’à 15 minutes, en fonction de l’échantillon.
- Mettez votre cantilever en place en 10 secondes
- Alignement correct à 100 %
- Pas de cassure de cantilever
Défi
L’échange et la mise en place du cantilever sont délicats et prennent du temps. Existe-t-il une meilleure solution ?
Solution
Utilisez le Probemaster breveté pour un échange automatisé du cantilever en 10 secondes.
BREVET : AT520313 (B1)
Vos avantages et votre gain de temps
Le Probemaster met en place rapidement votre cantilever, évite les dommages et permet un alignement correct.
- Chargez plusieurs échantillons et mesurez-les en un seul cycle
- Gagnez jusqu’à 20 minutes par rapport à l’échange répété de l’échantillon
- Verrouillez votre porte-échantillons au moyen du système de verrouillage magnétique
Défi
Est-il possible de charger plus d’un échantillon pour rationaliser le processus ?
Solution
Chargez plusieurs échantillons et mesurez-les en un seul cycle. Le système de verrouillage magnétique breveté du Tosca permet un placement stable des échantillons.
BREVET : AT515951 (B1)
Vos avantages et votre gain de temps
Placez les échantillons sur le grand support à l’endroit de votre choix et soyez sûrs qu’ils ne bougeront pas. Mesurez plusieurs échantillons en un cycle. Gain de temps : en fonction de l’utilisateur, jusqu’à 20 minutes par échantillon.
- Alignement laser complètement automatique en 5 secondes
- Deux clics de souris dans le logiciel suffisent
Défi
L’alignement manuel du laser est une procédure fastidieuse qui demande des connaissances spécifiques. Existe-t-il une alternative ?
Solution
Le Tosca propose un alignement laser complètement automatique en 5 secondes.
BREVET : AT520419 (B1)
Vos avantages et votre gain de temps
La fonction d’alignement laser automatique du Tosca fait de vous un expert en alignement. Deux clics de souris dans le logiciel suffisent. Gain de temps : jusqu’à 5 minutes par alignement.
- La caméra d’observation latérale brevetée vous montre la position exacte du cantilever au-dessus de la surface.
- Une approche sûre et rapide
- Pas de risque de heurt de la tête
Défi
Une approche parfaite est difficile. Comment puis-je éviter que la tête ne se heurte et traiter les géométries complexes, les échantillons transparents et les échantillons inclus dans le verre ?
Solution
La caméra d’observation latérale brevetée du Tosca permet la procédure d’engagement la plus sûre et la plus facile sur le marché.
BREVET : EP3324194B1
Vos avantages et votre gain de temps
Utiliser la vue horizontale du cantilever au-dessus de la surface de l’échantillon vous permet de contrôler visuellement l’approche. Gain de temps : en fonction de l’échantillon et de l’utilisateur, de 5 à 10 minutes avec un risque d’erreur beaucoup plus faible.
- Les trois caméras présentent l’échantillon à tous les niveaux
- Il vous suffit de cliquer pour passer dans la vue à l’échelle du cm, du µm, ou du nm
- Gagnez 5 à 10 minutes par mesure
Défi
Trouver la zone d’intérêt sur l’échantillon demande du temps et de la patience. Comment puis-je optimiser cette procédure ?
Solution
Le Tosca inclut une navigation cliquer-déplacer intuitive. Il suffit de cliquer sur la zone d’intérêt pour une navigation automatique immédiate sans positionnement manuel chronophage.
Vos avantages et votre gain de temps
La navigation ne demande qu’un simple clic de souris et est possible sur une large échelle, de l’ordre du cm au nm, avec trois caméras intégrées. Gain de temps : de 5 à 10 minutes par mesure avec l’avantage supplémentaire de la commodité.
- Toujours conserver les données brutes et suivre l’impact de chaque étape d’analyse
- Modèles et analyse de lots
- Des rapports prêts en 5 secondes
Défi
J’ai besoin d’un logiciel d’analyse avec plusieurs possibilités d’analyses et modèles. J’ai également besoin de l’option de suivi pour toutes les étapes d’analyse.
Solution
Utilisez les modèles de Tosca Analysis pour obtenir des rapports complets en quelques secondes. Chacune des opérations d’analyse est consignée si bien que vous pouvez suivre le traitement des données brutes à tout moment.
Vos avantages et votre gain de temps
Il vous suffit de charger les données brutes, de même que plusieurs données des mesures du lot et le rapport est prêt en 5 secondes. Gain de temps : jusqu’à 20 minutes par rapport d’analyse.
- Imagerie d’amplitude par résonance de contact
- Taille de l'image 10 µm x 10 µm
- Résolution 500 px x 500 px
Détails
Mélange de polymères PMMA/SBS. Superposition de la topographie et des propriétés mécaniques. Taille de l’image 10 µm x 10 µm, résolution 500 px x 500 px.
Mode
Imagerie d’amplitude par résonance de contact
Sujet de recherche
La distribution des polymères définit les propriétés mécaniques des films minces. Le mode CRAI est utilisé pour la topographie ainsi que pour l’analyse de phase.
- Mode tapping
- Taille de l'image 25 µm x 25 µm
- Résolution 1000 px x 1000 px
Détails
Réseau de fibres en polycaprolactone (PCL). Image topographique haute résolution pour l’évaluation de dimensions critiques. Taille de l’image 25 µm x 25 µm, resolution 1000 px x 1000 px.
Mode
Mode tapping
Sujet de recherche
Les nanofibres de PCL représentent un matériau prometteur pour diverses applications biomédicales. L’analyse de la topographie révèle le diamètre de nanofibres entre 80 nm et 400 nm.
- Microscope à force atomique mode conduction
- Taille de l'image 564 nm x 564 nm
- Résolution 400 px x 400 px
Détails
Les composants microélectroniques se composent de particules d’oxyde conductrices incluses dans une matrice de verre isolante. Superposition de la topographie et carte actuelle. Taille de l’image 564 nm x 564 nm, résolution 400 px x 400 px.
Mode
Microscope à force atomique mode conduction
Sujet de recherche
Le C-AFM peut être utilisé pour identifier les spots faiblement électriques dans les revêtements diélectriques ou pour visualiser le chemin conducteur dans un composant microélectronique ou les matériaux d’électrodes.
- Mode tapping
- Taille de l'image 1 µm x 1 µm
- Résolution 500 px x 500 px
Détails
(100) surface orientée de la tranche de silicium. Image topographique haute résolution pour l’évaluation de la rugosité de la surface. Taille de l'image 1 µm x1 µm, résolution 500 px x 500 px, rugosité de surface RMS 137 pm.
Mode
Mode tapping
Sujet de recherche
La rugosité de la surface des plaquettes est un paramètre de qualité important pour les processus ultérieurs de micro-structuration. Les systèmes AFM doivent être capables d'obtenir des images de la surface de matériaux hautement polis, avec une très faible rugosité de surface de l'ordre de 150 pm, avec une qualité et une fiabilité élevées.
- Mode tapping
- Taille de l'image 1200 nm x 750 nm
- Résolution 800 px x 800 px
Détails
Points quantiques (QD) auto-assemblés en arséniure d'indium (InAs) dans de l'arséniure de gallium (GaAs) cultivés sur une surface orientée (100) d'une tranche d'arséniure de gallium. Image topographique haute résolution pour l’évaluation des dimensions et de la distribution latérale des QD. Taille de l’image 1200 nm x 750 nm, résolution 800 px x 800 px.
Mode
Mode tapping
Sujet de recherche
Les points quantiques (QD) font l'objet d'une activité de recherche intensive en raison de leur potentielle application future dans l'électronique et la numérisation. Les dimensions des QD individuels et leur distribution latérale constituent des informations importantes pour le processus de production. Les terrasses visibles sur l'image sont les marches atomiques du matériau du substrat GaAs, avec une hauteur de marche individuelle d'environ 280 pm.
Spécifications techniques
| Tosca 400 | Tosca 200 | |
| Scanner | ||
| Plage de balayage X-Y | 100 µm x 100 µm | 50 µm x 50 µm* |
| Plage de balayage Z | 15 µm | 10 µm** |
| Bruit du capteur Z | 50 pm*** | |
| Vitesse de balayage max. | 10 lignes/s | 5 lignes/s |
| Échantillon | ||
| Diamètre max. de l'échantillon | 100 mm (200 mm****) | 50 mm |
| Hauteur max. de l'échantillon | 25 mm (2 mm****) | |
| Poids max. de l'échantillon | <600 g | |
| Répétabilité de position (unidirectionnelle) | <1 µm | |
| Vidéomicroscope | ||
| Caméra | Couleur, 5 mégapixels, capteur CMOS | |
| Champ d'observation | 1,73 mm x 1,73 mm | |
| Résolution spatiale | 5 µm | |
| Mise au point | Mise au point motorisée | |
| Caméra d'observation | ||
| Caméra | Couleur, 5 mégapixels, capteur CMOS | |
| Champ d'observation | 40 mm x 40 mm | |
| Résolution spatiale | 50 µm | |
| Caméra d'observation latérale | ||
| Caméra d'observation latérale | Noir et blanc, plage d'observation 30mm | |
| Modes | ||
| Modes standards | Mode contact, mode tapping (y compris image de phase), microscopie à force latérale, courbe force-distance | |
| Modes en option | Imagerie d’amplitude par résonance de contact, microscopie à force magnétique, microscopie à force de sonde Kelvin, microscopie à force électrostatique, microscopie à force atomique conductrice, microscopie à force atomique conductrice du contrôle de courant | |
| Dimensions et poids | ||
| Dimensions (L x l x H) de l'unité AFM | 490 mm x 410 mm x 505 mm | |
| Dimensions (L x l x H) du contrôleur | 340 mm x 305 mm x 280 mm | |
| Poids de l'unité AFM | 51,1 kg | |
| Poids du contrôleur | 7,8 kg | |
* mise à niveau optionnelle à 90 µm x 90 µm
** mise à niveau optionnelle à 12 µm ou 15 µm
*** Valeur moyenne des corps d'actionneurs produits ; valeur maximale 80 pm
**** en cas d'utilisation du Wafer Stage (option)
Tosca est une marque déposée (013412143) d'Anton Paar.
Service certifié Anton Paar
- Plus de 350 experts techniques certifiés par les fabricants dans le monde
- Assistance qualifiée dans votre langue locale
- Protection de votre investissement tout au long de son cycle de vie
- 3 ans de garantie
Documents
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Characterization of Nanoindentation on Copper using Atomic Force Microscopy Rapports d'application en
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Full Atomic Force Microscopy Investigation of a Polymer Thin Film with Tosca series AFMs Rapports d'application en
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How to Evaluate Roughness Distribution of Wafers by Means of Atomic Force Microscopy Rapports d'application en
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Investigation of the Phase Separation in Non-Fullerene Organic Solar Cells by AFM and GIWAXS Rapports d'application en
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Surface Characterization of PLGA Particles for Pharmaceuticals by Atomic Force Microscope Rapports d'application en
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Surface Characterization of Polymer Thin Films using Atomic Force Microscopy Rapports d'application en
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Surface Morphology of Pharmaceutical Solid Dosage Forms by Utilizing Atomic Force Microscopy Rapports d'application en
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Thin Film Characterization of Multiphase Acrylic Latex using Atomic Force Microscope Rapports d'application en
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Understanding Tribofilm Microstructure by Means of Atomic Force Microscopy Rapports d'application en
Accessoires
Accessoires
Accessoires
Accessoires
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Accessoire pour AFM Tosca 400 :
Porte-wafer
- Pour les wafers de 4, 6 et 8 pouces
- Porte-wafer entièrement adressable
- Conçu pour la manipulation de wafers avec des pinces à vide.
- Mesure multiple automatisée
Accessoire pour l'AFM Tosca :
Enceinte acoustique
- Protège l'AFM Tosca contre les vibrations transmises dans l’air
- Atténuation acoustique jusqu'à 40 dB
Accessoire pour l'AFM Tosca :
Isolation vibratoire
- Performance jusqu'à -40 dB, à 10 Hz - isolant 99,0 % des vibrations
- L'effet isolant commence à 0,6 Hz
- Ajustement automatique de la charge
- Aucun besoin d'air comprimé
