SurPASS™ 3 精致的测量样品池适合测量任何几何形状、尺寸或原物质的样品，并且为您的质量控制和研究提供方便。仪器能自动识别所用的测量池。
夹片样品 池 是 SurPASS 3测量平面表面时可选择的工具，可用于测量聚合物薄膜和片材、金属、陶瓷、玻璃或半导体晶圆等。仪器的结构确定了特定的接触压力，因此保证了样品安装具有高度可再现性。
关键功能
灵活且卓越
- 如聚合物薄膜及薄片、金属、陶瓷、玻璃和半导体晶圆之类的平面表面。
- 可进行两种不同的样品排列：在对称排列中，将两个完全相同的表面分别安装在规整的间隙两侧。非对称几何形状使用参考表面。
- 可对不同厚度样品进行无损测量。
技术规格
| 样品尺寸 | 最小 35 mm x 15 mm 或 直径最小 17 mm |
|---|---|
样品厚度 | 最大 40mm |
