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高温超纳米压痕测试仪 (UNHT³ HTV)

高温纳米压痕测试仪是测量小载荷下纳米尺度机械性能的测试系统,温度在 800 °C 以下的薄膜和涂层的硬度和弹性模量。专利 UNHT 技术与独特的加热功能结合,可提供在任何温度下的高稳定性测量解决方案。

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关键功能

新一代的高温纳米压痕测试仪

  • 环境条件下最低热漂移 (< 0.5 nm/min) 和整个温度范围内最低热漂移 (< 3 nm/min)。
  • 最高载荷框架刚度 (>>106 N/m) 和最低框架柔度 (<<0.1 nm/mN):两套独立的位移和载荷传感器与高精度电容传感器结合,可选择“控制位移”和“载荷控制”模式。
  • 高真空系统具有 5 轴磁悬浮涡轮泵和缓冲系统,允许在测量期间关闭初级泵,使振动降至最低。
  • 独特的加热控制系统(3 项专利待批),采用3 个红外 (IR) 加热器分别用于给压痕针尖、参比针尖和样品进行加热,以及 4 个热电偶用于将样品表面温度控制到 变化在0.1°C 内。
  • 符合 ISO 14577 和 ASTM E2546 国际标准

技术规格

载荷
最大载荷 100 mN
载荷分辨率   6 nN
本底噪音   0.5 [rms] [μN]*
位移
最大位移100 μm
位移分辨率 0.003 nm
本底噪音 0.15 [rms] [nm]*
 
极限真空度 10 mBar
最高温度 800 °C

*理想实验室条件下规定的本底噪音值,并使用减震台。

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