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原子力显微镜:Tosca

型号:
  • 用于入门级预算的顶级 AFM
  • 价格区间最大的样品台(50 mm 完全可寻址)
  • 市场上最快的测量时间(仅 3 min)
  • Z 方向扫描尺寸为 15 µm,X 和 Y 方向扫描尺寸为 90 µmx 90 µm
  • 悬臂梁更换不到 10 秒
  • 所有模式都在同一个采样点,无需测量头更换
  • 价格区间最大的样品台(晶圆可达 200 mm)
  • 为您的 AFM 提供最高水平的硬件和软件自动化服务
  • 市场上最快的测量时间(仅 3 min)
  • 悬臂梁更换不到 10 秒
  • 所有模式都在同一个采样点,无需测量头更换
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入门级预算的顶级原子力显微镜:凭借最快的测量设置和最大的样品台,Tosca 系列可以跟上原子力显微镜纳米表面分析的步伐。

Tosca 是纳米技术材料科学领域的研究人员、先驱、思想家和制造者的首选。

过去往往需要更换测量头进行模式切换:Tosca 支持在一个测量头中使用所有可用模式在完全相同的位置进行测量。

关于所有 Tosca 客户服务组合

优势

专利智能功能,涵盖 AFM 测量程序的每个步骤,创建了独特、高度简化的 AFM 工作流程,测量结果比传统原子力显微镜系统快 10 倍。

与其花几天时间学习操作 AFM,不如在 1 小时后开始测量。 几秒内快速安全装载的悬臂梁,自动激光对准,最直观的样品导航和市场上最安全的进针程序,让您更快实现目标:有更多时间专注于您的研究成果。

学习使用 AFM
  • 培训只需要 1 小时
  • 比传统 AFM 快 12 倍

挑战

我想马上开始。我需要多长时间才能学会使用 Tosca?

解决方案

Tosca 操作非常简单,培训使用标准模式只需要一个小时。

获益和时间

使用 Tosca,您可以在一个小时的培训后开始第一次测量,而传统的 AFM 的培训要花费 1.5 天。

制备用于测量的样品
  • 不需要进行样品制备
  • 直接测量大样品
  • 样品台:100 mm 直径,25 mm 高(晶片直径度可达 200 mm)

挑战

样品切割和切片可能会导致损伤和污染。我怎样才可以避免?

解决方案

忽略样品制备和相关的污染或伪造结果的风险。使用 Tosca,您可以直接测量高度达 25 mm、直径达 100 mm 的大样品。

获益和时间

使用 Tosca,您可以获得准确的结果,并可以跳过这一繁琐的准备步骤。节省时间:可达 15 分钟(视样品而定)。

悬臂梁装载
  • 在 10 秒内定位您的悬臂梁
  • 100% 正确对准
  • 无悬臂梁断裂

挑战

悬臂梁更换和定位既棘手又耗时。有没有更好的办法?

解决方案

使用专利 Probemaster 在 10 秒内实现免提悬臂梁更换。

专利:AT520313 (B1)

获益和时间节省

Probemaster 可快速定位悬臂梁,防止损坏,并实现正确对准。

装入样品
  • 装入多个样品,并在一次运行中测量所有样品
  • 重复替换样品,最多可节省 20 分钟
  • 用磁力锁固定样品载体

挑战

是否可以装入多个样品以简化流程?

解决方案

装入多个样品,并在一次运行中测量所有样品Tosca 的专利磁力锁,确保样品稳定定位。

专利: AT515951 (B1)

获益和时间节省

将样品固定在大型载体所选位置,并依靠稳定的定位稳固。一步测量多个样品。节省时间:取决于用户,每个样品最多花费 20 分钟。

激光对准
  • 5 秒内实现全自动激光对准
  • 只需在软件中点击两次鼠标

挑战

手动对准激光是一个繁琐的过程,也需要专业知识。有其他对准方案吗?

解决方案

Tosca 5 秒内实现全自动激光对准

专利: AT520419 (B1)

获益和时间节省

Tosca 全自动激光校准功能使您成为校准专家。只需在软件中轻轻点击两次鼠标。节省时间:每次对准最多花费 5 分钟。

路径
  • 专利侧视图相机显示悬臂梁在表面的确切的位置
  • 安全快速的路径
  • 没有测量头碰撞的风险

挑战

找到正确的路径很难。我如何避免测量头碰撞并处理复杂的几何形状、透明样品和嵌入玻璃的样品?

解决方案

Tosca 的专利侧视图相机可以实现市场上最安全、最简单的进针程序。

专利: EP3324194B1  

获益和时间节省

利用样品表面上方悬臂梁的水平视图,可以直观地监控路径情况。节省时间:根据样品和用户的不同,5 到 10 分钟,故障风险明显降低。

导航
  • 三个相机显示样品的所有层面
  • 只需点击并移动到 cm、µm 或 nm 尺度的视图
  • 安全,每次测量只需 5 到 10 分钟

挑战

在样品上找到关注区域需要时间和耐心。我该如何优化这个程序?

解决方案

Tosca 执行直观的点击-移动导航:只需点击关注的区域,就可以立即进行自动导航,而无需耗时的手动定位。

获益和时间节省

导航只需要一次鼠标点击,可以用三个集成相机实现从 cm、µm 到 nm 的尺度范围内进行。节省时间:每次测量只需 5 到 10 分钟,另外还有一个好处就是方便。

分析日期
  • 始终保留原始数据并跟踪所有分析步骤的影响
  • 模板和批量分析
  • 报告在 5 秒内完成

挑战

我需要一个具有一系列分析可能性和模板的分析软件。我还需要跟踪所有分析步骤的可选软件。

解决方案

使用 Tosca 分析模板可以在几秒钟内获得完整的报告。每个单独的分析操作都有记录,因此可以随时跟踪原始数据的处理。

获益和时间节省

您只需要加载原始数据,也可以从批量测量中加载多个数据,报告将在 5 秒内完成。节省时间:每个分析报告最多需要 20 分钟。

聚合物样品
  • 接触共振振幅成像
  • 图像大小 10 µm x 10 µm
  • 分辨率 500 px x 500 px

详情

聚甲基丙烯酸甲酯 (PMMA)/SBS 聚合物共混物。形貌和机械性能的叠加。图像尺寸 10 µm x 10 µm,分辨率 500 px x 500 px。

工作模式

接触共振振幅成像

研究领域

两种聚合物的分布决定了薄膜的力学性能。形貌和相分析采用 CRAI 模式。

纳米纤维样品
  • 轻敲模式
  • 图像大小 25 µm x 25 µm
  • 分辨率 1000 px x 1000 px

详情

聚己内酯 (PCL) 光纤网络。用于评估关键尺寸的高分辨率的形貌像图像大小 25 µm x 25 µm,分辨率 1000 px x 1000 px。

工作模式

轻敲模式

研究领域

聚己内酯纳米纤维是一种具有广泛生物医学应用前景的材料。形貌分析显示纳米纤维的直径在 80 nm 和 400 nm 之间。

微电子样品
  • 导电原子力显微镜
  • 图像大小 564 nm x 564 nm
  • 分辨率 400 px x 400 px

详情

由绝缘玻璃基质中的导电氧化物颗粒组成的微电子元件。形貌和电流像的叠加。图像大小 564 nm x 564 nm,分辨率 400 px x 400 px。

工作模式

导电原子力显微镜

研究领域

C-AFM  可用于识别介电涂层中的电弱点,或对微电子元件或电极材料中的导电路径进行成像。

抛光晶圆样品
  • 轻敲模式
  • 图像大小 1 µm x 1 µm
  • 分辨率 500 px x 500 px

详情

(100) 硅片的定向表面。用于评定表面粗糙度的高分辨率形貌图像。图像大小 1 µm x1 µm,分辨率 500 px x 500 px,RMS 表面粗糙度 137 pm。

工作模式

轻敲模式

研究领域

晶片表面粗糙度是微结构后续工艺的一个重要质量参数。AFM 系统必须能够在 150 pm 范围内以极低的表面粗糙度对高度抛光材料的表面进行成像 – 具有高质量和可靠性。 

量子点样本
  • 轻敲模式
  • 图像大小 1200 nm x 750 nm
  • 分辨率 800 px x 800 px

详情

砷化镓 (GaAs) 中自组装的砷化铟 (InAs) 量子点 (QD) 生长在砷化镓晶圆的 (100) 取向表面上。用于评价量子点的尺寸和横向分布的高分辨率形貌图像。图像大小 1200 nm x 750 nm,分辨率 800 px x 800 px。

工作模式

轻敲模式

研究领域

量子点 (QD) 由于其在电子学和数字化领域的潜在应用前景而成为一个热点研究领域。单个 QD 的尺寸和横向分布构成了生产过程的重要信息。图像中可见的阶梯是砷化镓衬底材料的原子阶跃,单个阶跃高度约为 280 pm。

技术规格

Tosca 400 Tosca 200
扫描器
X-Y 方向扫描范围 100 µm x 100 µm 50 µm x 50 µm*
Z 方向扫描范围 15 µm 10 µm**
Z-传感器噪音 50 pm***
最大扫描速度 10 行/秒 5 lines/s
样品
样品最大直径 100 mm (200 mm****) 50 mm
样品最大高度 25 mm (2 mm****)
样品最大重量 <600 g
定位重复性
(单向)
<1 µm
视频显微镜
相机 彩色,500 万像素,CMOS 传感器
视场 1.73 mm x 1.73 mm
空间分辨率 5 µm
聚焦 自动聚焦
总览相机
相机 彩色,500 万像素,CMOS 传感器
视场 40 mm x 40 mm
空间分辨率 50 µm
侧视相机
侧视相机 黑白,视场范围位大约 30 mm
模式
标准模式 接触模式、轻敲模式(包括相位图像)、横向力显微镜、力距离曲线
可选模式 接触共振振幅成像、磁力显微镜、开尔文探针显微镜、静电力显微镜、导电原子力显微镜、电流控制型导电原子力显微镜
尺寸和重量
AFM 装置尺寸(长 x 宽 x 高) 490 mm x 410 mm x 505 mm
控制器尺寸(长 x 宽 x 高) 340 mm x 305 mm x 280 mm
AFM 装置重量 51.1 kg
控制器重量 7.8 kg

* 可选择升级到 90 µm x 90 µm

** 可选择升级到 12 µm 或 15 µm

*** 所生产执行机构的平均值;最大值 80 pm

**** 使用晶圆工件台时(可选)

Tosca 是安东帕的注册商标 (013412143)。

安东帕认证服务

安东帕在服务和支持方面的质量:
  • 全球超过 350 名制造商认证的技术专家
  • 以当地语言提供的合格支持
  • 在您的整个生命周期中保护您的投资
  • 3 年质保
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文档

附件

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AFM 软件:Tosca Control 和 Tosca Analysis

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交货时间: %1$s – %2$s 工作日 %1$s – %2$s 周 %1$s – %2$s 月

Tosca 400 AFM 的附件:晶圆工作台

交货时间: %1$s – %2$s 工作日 %1$s – %2$s 周 %1$s – %2$s 月
产品详情:
  • 适用于 4 英寸、6 英寸和 8 英寸晶圆
  • 完全可寻址晶圆工作台
  • 设计为使用真空镊子操作晶圆。
  • 多次全自动测量

更多信息

Tosca AFM 的附件:隔振

交货时间: %1$s – %2$s 工作日 %1$s – %2$s 周 %1$s – %2$s 月
产品详情:
  • 10 Hz 时性能高达-40 dB—隔离 99,0 % 振动
  • 隔离效果始于 0.6 Hz
  • 自动化的负载调整
  • 无需压缩空气

更多信息

Tosca AFM 的附件:隔音罩

交货时间: %1$s – %2$s 工作日 %1$s – %2$s 周 %1$s – %2$s 月
产品详情:
  • 隔离 AFM 不受空气噪音影响
  • 声衰减高达 40 dB

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