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Accessoire pour AFM Tosca 400 :
Porte-wafer

  • Pour les wafers de 4, 6 et 8 pouces
  • Porte-wafer entièrement adressable
  • Conçu pour la manipulation de wafers avec des pinces à vide.
  • Mesure multiple automatisée
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Les structures de wafers sont de plus en plus petites et la masse volumique des composants intégrés ne cesse de croître. Afin de pouvoir analyser de telles structures sub-nanométriques de manière non destructive en utilisant la microscopie à force atomique, vous devez procéder à une inspection de surface de l'ensemble du wafer. Le porte-wafer d'Anton Paar est le complément parfait pour améliorer le microscope à force atomique Tosca 400 en le transformant en un outil d'analyse de wafers entièrement automatisé. 

Caractéristiques principales

Mesurez un wafer pouvant présenter un de 200 mm sans le couper

Mesurez un wafer pouvant présenter un de 200 mm sans le couper

Le porte-wafer pour Tosca 400 offre la plus grande flexibilité en matière d'analyse AFM de wafers complets. Vous pouvez mesurer des wafers de 100 mm, 150 mm et 200 mm sur cette platine d'échantillonnage. Ces wafers sont fixés avec un mandrin à vide spécial. De plus, plusieurs fragments de wafer peuvent être mesurés automatiquement avec la platine d'échantillonnage standard, sur laquelle vous pouvez basculer en moins de 3 minutes.

Découvrez la mesure en batch la plus intuitive

Découvrez la mesure en batch la plus intuitive

Des statistiques représentatives à partir des données AFM lors de l'analyse des wafers complets sont essentielles dans l'analyse des défaillances et l'optimisation des processus. Notre fonction de mesure par batch automatise entièrement ces tâches. Elle offre une configuration intuitive pour ajouter, modifier, réorganiser et redéfinir les mesures existantes dans le tableau des batchs. Des fichiers de batchs prédéfinis peuvent être créés et chargés pour permettre des mesures standardisées. Même l'analyse de ces mesures peut s'effectuer de manière entièrement automatisée à l'aide de modèles prédéfinis dans le logiciel Tosca Analysis. 

Trouvez et corrigez à tout moment n'importe quel point de votre wafer

Trouvez et corrigez à tout moment n'importe quel point de votre wafer

L'alignement automatisé intégré du wafer permet une navigation complète via des coordonnées absolues. Cela permet de localiser et relocaliser à tout moment des points spécifiques de votre plaquette, de manière à optimiser les processus de production des wafers. Vous pouvez également charger les coordonnées existantes à partir d'autres instruments d'analyse pour effectuer une analyse AFM par Tosca exactement à la même position. Ainsi, vous êtes en mesure de repérer rapidement et facilement les défauts de votre wafer. 

Spécifications techniques

Taille de wafer100 mm (4"), 150 mm (6"), 200 mm (8")
Hauteur max. de wafer2 mm

Service certifié Anton Paar

La qualité du service et du support Anton Paar :
  • Plus de 350 experts techniques certifiés par les fabricants dans le monde
  • Assistance qualifiée dans votre langue locale
  • Protection de votre investissement tout au long de son cycle de vie
  • 3 ans de garantie
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