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Microscopes à force atomique :
Tosca

Modèle:
  • Top-level AFM for entry-level budgets
  • Le plus grand porte-échantillons du segment de prix (50 mm entièrement adressables)
  • Temps de mesure le plus rapide sur le marché (seulement 3 min)
  • Taille de balayage de 15 µm dans la direction Z et 90 µm x 90 µm dans les directions X et Y.
  • Échange de cantilever en moins de 10 secondes
  • Tous les modes sont possibles sur le même spot d’échantillon sans avoir à changer de tête
  • Le plus grand porte-échantillons du segment de prix (jusqu’à 200 mm pour les wafers)
  • Le niveau d’automatisation matérielle et logicielle le plus élevé pour votre AFM
  • Temps de mesure le plus rapide sur le marché (seulement 3 min)
  • Échange de cantilever en moins de 10 secondes
  • Tous les modes sont possibles sur le même spot d’échantillon sans avoir à changer de tête
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AFM de haut niveau adapté aux budgets serrés: avec la configuration de mesure la plus rapide et le plus grand porte-échantillons, la série Tosca suit le rythme de votre analyse de surfaces à l’échelle nanométrique par microscope à force atomique.

Le Tosca est le premier choix pour les chercheurs, les pionniers, les penseurs et les créateurs de la nanotechnologie dans le domaine de la science des matériaux.

La commutation de mode avec changement de tête était hier : Le microscope à forces atomiques Tosca permet de mesurer exactement le même point en utilisant tous les modes disponibles combinés dans une seule tête.

Tout savoir sur l’offre Tosca Care

Avantages

Des fonctions intelligentes brevetées couvrant toutes les étapes de la procédure de mesure par microscope à force atomique créent un workflow AFM unique et hautement rationalisé, permettant d’obtenir des résultats 10 fois plus vite qu’avec des systèmes AFM conventionnels.

Au lieu de passer des jours à apprendre comment se servir du microscope à force atomique, vous pourrez commencer vos mesures au bout d’une heure de formation Un chargement de cantilever rapide et sûr en quelques secondes, un alignement laser automatique, la navigation des échantillons la plus intuitive et la procédure d'engagement la plus sûre du marché vous mènent à votre objectif : davantage de temps pour vous concentrer sur les résultats de vos recherches.

Apprendre comment se servir de l’AFM
Apprendre comment se servir de l’AFM
  • La formation ne dure qu’une heure
  • 12 x plus rapide que les microscopes à force atomique conventionnels

Défi

Je veux commencer sans attendre. Combien de temps me faudra-t-il pour apprendre à me servir du Tosca ?

Solution

Le Tosca est si facile à utiliser que la formation pour apprendre l’usage des modes standards ne prend qu’une heure.

Vos avantages et votre temps

Avec le Tosca, vous pouvez commencer vos mesures après une heure de formation et non 1,5 jour dans le cas des microscopes à force atomique conventionnels.

Préparation des échantillons pour la mesure
Préparation des échantillons pour la mesure
  • Pas de préparation d'échantillon requise
  • Mesurez immédiatement de grands échantillons
  • Plateau d'échantillonnage : 100 mm de diamètre (jusqu'à 200 mm de diamètre pour les plaquettes), 25 mm de hauteur 

Défi

Couper et trancher des échantillons peut les endommager et les contaminer. Comment éviter cela ?

Solution

Oubliez la préparation d’échantillon et le risque associé de contamination ou de résultats faussés. Avec le Tosca, vous pouvez mesurer sans attendre de grands échantillons (jusqu’à 25 mm de hauteur et 100 mm de diamètre).

Vos avantages et votre temps

Avec le Tosca AFM, vous obtenez des résultats précis et vous pouvez vous passer de l’étape fastidieuse de préparation. Gain de temps : jusqu’à 15 minutes, en fonction de l’échantillon.

Chargement de cantilever
Chargement de cantilever
  • Mettez votre cantilever en place en 10 secondes
  • Alignement correct à 100 %
  • Pas de cassure de cantilever

Défi

L’échange et la mise en place du cantilever sont délicats et prennent du temps. Existe-t-il une meilleure solution ?

Solution

Utilisez le Probemaster breveté pour un échange automatisé du cantilever en 10 secondes.

BREVET : AT520313 (B1)

Vos avantages et votre gain de temps

Le Probemaster met en place rapidement votre cantilever, évite les dommages et permet un alignement correct.

Chargement des échantillons
Chargement des échantillons
  • Chargez plusieurs échantillons et mesurez-les en un seul cycle
  • Gagnez jusqu’à 20 minutes par rapport à l’échange répété de l’échantillon
  • Verrouillez votre porte-échantillons au moyen du système de verrouillage magnétique

Défi

Est-il possible de charger plus d’un échantillon pour rationaliser le processus ?

Solution

Chargez plusieurs échantillons et mesurez-les en un seul cycle. Le système de verrouillage magnétique breveté du Tosca permet un placement stable des échantillons.

BREVET : AT515951 (B1)

Vos avantages et votre gain de temps

Placez les échantillons sur le grand support à l’endroit de votre choix et soyez certains qu’ils ne bougeront pas. Mesurez plusieurs échantillons en un cycle. Gain de temps : en fonction de l’utilisateur, jusqu’à 20 minutes par échantillon.

Alignement laser
Alignement laser
  • Alignement laser complètement automatique en 5 secondes
  • Deux clics de souris dans le logiciel suffisent

Défi

L’alignement manuel du laser est une procédure fastidieuse qui demande des connaissances spécifiques. Existe-t-il une alternative ?

Solution

Le Tosca propose un alignement laser complètement automatique en 5 secondes.

BREVET : AT520419 (B1)

Vos avantages et votre gain de temps

La fonction d’alignement laser automatique du Tosca fait de vous un expert en alignement. Deux clics de souris dans le logiciel suffisent. Gain de temps : jusqu’à 5 minutes par alignement.

Approche
Approche
  • La caméra d’observation latérale brevetée vous montre la position exacte du cantilever au-dessus de la surface.
  • Une approche sûre et rapide
  • Pas de risque de heurt de la tête

Défi

Une approche parfaite est difficile. Comment puis-je éviter que la tête touche la surface et traiter les géométries complexes ou les échantillons transparents ?

Solution

La caméra d’observation latérale brevetée du Tosca permet la procédure d’engagement la plus sûre et la plus facile sur le marché.

BREVET : EP3324194B1  

Vos avantages et votre gain de temps

Utiliser la vue horizontale du cantilever au-dessus de la surface de l’échantillon vous permet de contrôler visuellement l’approche. Gain de temps : en fonction de l’échantillon et de l’utilisateur, de 5 à 10 minutes avec un risque d’erreur beaucoup plus faible.

Navigation
Navigation
  • Les trois caméras présentent l’échantillon à tous les niveaux
  • Il vous suffit de cliquer pour passer dans la vue à l’échelle du cm, du µm, ou du nm
  • Gagnez 5 à 10 minutes par mesure

Défi

Trouver la zone d’intérêt sur l’échantillon demande du temps et de la patience. Comment puis-je optimiser cette procédure ?

Solution

Le Tosca AFM inclut une navigation cliquer-déplacer intuitive. Il suffit de cliquer sur la zone d’intérêt pour une navigation automatique immédiate sans positionnement manuel chronophage.

Vos avantages et votre gain de temps

La navigation ne demande qu’un simple clic de souris et est possible sur une large échelle, de l’ordre du cm au nm, avec trois caméras intégrées. Temps économisé : de 5 à 10 minutes par mesure avec l’avantage supplémentaire de la commodité.

Analyse de données
Analyse de données
  • Toujours conserver les données brutes et suivre l’impact de chaque étape d’analyse
  • Modèles et analyse de lots
  • Des rapports prêts en 5 secondes

Défi

J’ai besoin d’un logiciel d’analyse avec plusieurs possibilités d’analyses et modèles. J’ai également besoin de l’option de suivi pour toutes les étapes d’analyse.

Solution

Utilisez les modèles de Tosca AFM Analysis pour obtenir des rapports complets en quelques secondes. Chacune des opérations d’analyse est consignée si bien que vous pouvez suivre le traitement des données brutes à tout moment.

Vos avantages et votre gain de temps

Il vous suffit de charger les données brutes, de même que plusieurs données des mesures du lot et le rapport est prêt en 5 secondes. Gain de temps : jusqu’à 20 minutes par rapport d’analyse.

Échantillon de polymères
  • Imagerie d’amplitude par résonance de contact
  • Taille de l'image 10 µm x 10 µm
  • Résolution 500 px x 500 px

Détails

Mélange de polymères PMMA/SBS. Superposition de la topographie et des propriétés mécaniques. Taille de l’image 10 µm x 10 µm, résolution 500 px x 500 px.

Mode

Imagerie d’amplitude par résonance de contact

Sujet de recherche

La distribution des polymères définit les propriétés mécaniques des films minces. Le mode CRAI est utilisé pour la topographie ainsi que pour l’analyse de phase.

Echantillons de nanofibres
  • Mode tapping
  • Taille de l'image 25 µm x 25 µm
  • Résolution 1000 px x 1000 px

Détails

Réseau de fibres en polycaprolactone (PCL). Image topographique haute résolution pour l’évaluation de dimensions critiques. Taille de l’image 25 µm x 25 µm, resolution 1000 px x 1000 px.

Mode

Mode tapping

Sujet de recherche

Les nanofibres de PCL représentent un matériau prometteur pour diverses applications biomédicales. L’analyse de la topographie révèle le diamètre de nanofibres entre 80 nm et 400 nm.

Echantillon microélectronique
  • Microscope à force atomique mode conduction
  • Taille de l'image 564 nm x 564 nm
  • Résolution 400 px x 400 px

Détails

Les composants microélectroniques se composent de particules d’oxyde conductrices incluses dans une matrice de verre isolante. Superposition de la topographie et carte actuelle. Taille de l’image 564 nm x 564 nm, résolution 400 px x 400 px.

Mode

Microscope à force atomique mode conduction

Sujet de recherche

Le C-AFM  peut être utilisé pour identifier les spots faiblement électriques dans les revêtements diélectriques ou pour visualiser le chemin conducteur dans un composant microélectronique ou les matériaux d’électrodes.

Échantillon de plaquette polie
  • Mode tapping
  • Taille de l'image 1 µm x 1 µm
  • Résolution 500 px x 500 px

Détails

(100) surface orientée de la tranche de silicium. Image topographique haute résolution pour l’évaluation de la rugosité de la surface. Taille de l'image 1 µm x1 µm, résolution 500 px x 500 px, rugosité de surface RMS 137 pm.

Mode

Mode tapping

Sujet de recherche

La rugosité de la surface des plaquettes est un paramètre de qualité important pour les processus ultérieurs de micro-structuration. Les systèmes AFM doivent être capables d'obtenir des images de la surface de matériaux hautement polis, avec une très faible rugosité de surface de l'ordre de 150 pm, avec une qualité et une fiabilité élevées. 

Echantillon de points quantiques
  • Mode tapping
  • Taille de l'image 1200 nm x 750 nm
  • Résolution 800 px x 800 px

Détails

Points quantiques (QD) auto-assemblés en arséniure d'indium (InAs) dans de l'arséniure de gallium (GaAs) cultivés sur une surface orientée (100) d'une tranche d'arséniure de gallium. Image topographique haute résolution pour l’évaluation des dimensions et de la distribution latérale des QD. Taille de l’image 1200 nm x 750 nm, résolution 800 px x 800 px.

Mode

Mode tapping

Sujet de recherche

Les points quantiques (QD) font l'objet d'une activité de recherche intensive en raison de leur potentielle application future dans l'électronique et la numérisation. Les dimensions des QD individuels et leur distribution latérale constituent des informations importantes pour le processus de production. Les terrasses visibles sur l'image sont les marches atomiques du matériau du substrat GaAs, avec une hauteur de marche individuelle d'environ 280 pm.

Spécifications techniques

Tosca 400 Tosca 200
Scanner
Plage de balayage X-Y 100 µm x 100 µm 50 µm x 50 µm*
Plage de balayage Z 15 µm 10 µm**
Bruit du capteur Z 50 pm***
Vitesse de balayage max. 10 lignes/s 5 lignes/s
Échantillon
Diamètre max. de l'échantillon 100 mm (200 mm****) 50 mm
Hauteur max. de l'échantillon 25 mm (2 mm****)
Poids max. de l'échantillon <600 g
Répétabilité de position
(unidirectionnelle)
<1 µm
Vidéomicroscope
Caméra Couleur, 5 mégapixels, capteur CMOS
Champ d'observation 1,73 mm x 1,73 mm
Résolution spatiale 5 µm
Mise au point Mise au point motorisée
Caméra d'observation
Caméra Couleur, 5 mégapixels, capteur CMOS
Champ d'observation 40 mm x 40 mm
Résolution spatiale 50 µm
Caméra d'observation latérale
Caméra d'observation latérale Noir et blanc, plage d'observation 30mm
Modes
Modes standards Mode contact, mode tapping (y compris image de phase), microscopie à force latérale, courbe force-distance
Modes en option Imagerie d’amplitude par résonance de contact, microscopie à force magnétique, microscopie à force de sonde Kelvin, microscopie à force électrostatique, microscopie à force atomique conductrice, microscopie à force atomique conductrice du contrôle de courant
Dimensions et poids
Dimensions (L x l x H) de l'unité AFM 490 mm x 410 mm x 505 mm
Dimensions (L x l x H) du contrôleur 340 mm x 305 mm x 280 mm
Poids de l'unité AFM 51,1 kg
Poids du contrôleur 7,8 kg

* mise à niveau optionnelle à 90 µm x 90 µm

** mise à niveau optionnelle à 12 µm ou 15 µm

*** Valeur moyenne des corps d'actionneurs produits ; valeur maximale 80 pm

**** en cas d'utilisation du Wafer Stage (option)

Tosca est une marque déposée (013412143) d'Anton Paar.

Service certifié Anton Paar

La qualité du service et du support Anton Paar :
  • Plus de 350 experts techniques certifiés par les fabricants dans le monde
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  • Protection de votre investissement tout au long de son cycle de vie
  • 3 ans de garantie
Pour en savoir plus

Documents

Publications Tosca

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Shen Y, Zhou H, Wang H, Liao B, Wu X, Zhang X. Tribological Behavior of Diamond-like Carbon Coatings with Patterned Structure Deposited by the Filtered Cathodic Vacuum Arc. Thin Solid Films. 2019; 685, 123-130. doi.org/10.1016/j.tsf.2019.06.020

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Accessoires

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Accessoires

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Accessoire pour AFM Tosca 400 :
Porte-wafer

Compatible avec:
Tosca 200 | 400
Délai de livraison : %1$s - %2$s jours ouvrables %1$s – %2$s semaines %1$s – %2$s mois
Détails du produit
  • Pour les wafers de 4, 6 et 8 pouces
  • Porte-wafer entièrement adressable
  • Conçu pour la manipulation de wafers avec des pinces à vide.
  • Mesure multiple automatisée

Plus d'informations

Accessoire pour l'AFM Tosca :
Enceinte acoustique

Compatible avec:
Tosca 200 | 400
Délai de livraison : %1$s - %2$s jours ouvrables %1$s – %2$s semaines %1$s – %2$s mois
Détails du produit
  • Protège l'AFM Tosca contre les vibrations transmises dans l’air
  • Atténuation acoustique jusqu'à 40 dB

Plus d'informations

Accessoire pour l'AFM Tosca :
Isolation vibratoire

Compatible avec:
Tosca 200 | 400
Délai de livraison : %1$s - %2$s jours ouvrables %1$s – %2$s semaines %1$s – %2$s mois
Détails du produit
  • Performance jusqu'à -40 dB, à 10 Hz - isolant 99,0 % des vibrations
  • L'effet isolant commence à 0,6 Hz
  • Ajustement automatique de la charge
  • Aucun besoin d'air comprimé

Plus d'informations

Logiciel AFM :
Tosca Control et Tosca Analysis

Compatible avec:
Tosca 200 | 400
Plus d'informations
Délai de livraison : %1$s - %2$s jours ouvrables %1$s – %2$s semaines %1$s – %2$s mois

Outil d'échange de cantilever pour l'AFM Tosca :
Probemaster

Compatible avec:
Tosca 200 | 400
Délai de livraison : %1$s - %2$s jours ouvrables %1$s – %2$s semaines %1$s – %2$s mois
Détails du produit
  • Échange de cantilever facile, fiable en moins de 10 secondes
  • Alignement automatique validé à 100 %
  • Aucune rupture du cantilever en raison d'erreurs de manipulation

Plus d'informations