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Accessoire pour Tosca 400 AFM :
Wafer Stage

Desesures AFM entièrement automatiques de plaquettes de jusqu'à 200 mm

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Les structures de plaquettes sont de plus en plus petites et la masse volumique des composants intégrés ne cesse de croître. Afin de pouvoir analyser de telles structures sub-nanométriques de manière non destructive en utilisant la microscopie à force atomique, vous devez procéder à une inspection de surface de l'ensemble de la plaquette. Le Wafer Stage d'Anton Paar est le complément parfait pour améliorer le microscope à force atomique Tosca 400 en le convertissant en un outil d'analyse de plaquettes entièrement automatisé. 

Caractéristiques principales

Mesurez une plaquette de jusqu'à 200 mm sans la couper

Mesurez une plaquette de jusqu'à 200 mm sans la couper

Le Wafer Stage pour Tosca 400 offre la plus grande flexibilité en matière d'analyse AFM de plaquettes pleines. Vous pouvez mesurer des plaquettes de 100 mm, 150 mm et 200 mm sur cette platine d'échantillonnage. Celles-ci sont fixées avec un mandrin à vide spécial. De plus, plusieurs fragments de plaquettes peuvent être mesurés automatiquement avec la platine d'échantillonnage standard, sur laquelle vous pouvez passer en moins de 3 minutes.

Découvrez la mesure en lots la plus intuitive

Découvrez la mesure en lots la plus intuitive

Des statistiques représentatives à partir des données AFM lors de l'analyse de plaquettes pleines sont essentielles dans l'analyse des défaillances et l'optimisation des processus. Notre fonction de mesure par lots automatise entièrement ces tâches. Elle offre une configuration intuitive pour ajouter, modifier, réorganiser et redéfinir les mesures existantes dans le tableau de lots. Des fichiers de lots prédéfinis peuvent être créés et chargés pour permettre des mesures standardisées. Même l'analyse de ces mesures peut s'effectuer de manière entièrement automatique à l'aide de modèles prédéfinis dans le logiciel Tosca Analysis. 

Trouvez et corrigez à tout moment n'importe quel point de votre plaquette

Trouvez et corrigez à tout moment n'importe quel point de votre plaquette

L'alignement automatisé intégré de la plaquette permet une navigation complète via des coordonnées absolues. Cela permet de localiser et relocaliser à tout moment des points spécifiques de votre plaquette, de manière à optimiser les processus de production de plaquettes. Vous pouvez également charger les coordonnées existantes à partir d'autres instruments d'analyse pour effectuer une analyse AFM avec Tosca exactement à la même position. Ainsi, vous êtes à même de repérer rapidement et facilement les défauts de votre plaquette. 

Spécifications techniques

Taille de plaquette100 mm (4”), 150 mm (6”), 200 mm (8”)
Hauteur max. de plaquette2 mm

Anton Paar Certified Service

La qualité d’Anton Paar dans le service et l’assistance :
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